半導(dǎo)體激光器又稱為激光二極管(LD,Laser Diode),是采用半導(dǎo)體材料作為工作物質(zhì)而產(chǎn)生受激發(fā)射的一類激光器。常用材料有砷化鎵(GaAs)、硫化鎘(CdS)、磷化銦(InP)、硫化鋅(ZnS)。激勵(lì)方式有電注入、電子束激勵(lì)和光泵浦激勵(lì)三種形式。半導(dǎo)體激光器件,一般可分為同質(zhì)結(jié)、單異質(zhì)結(jié)、雙異質(zhì)結(jié)。同質(zhì)結(jié)激光器和單異質(zhì)結(jié)激光器室溫時(shí)多為脈沖器件,而雙異質(zhì)結(jié)激光器室溫時(shí)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)工作。半導(dǎo)體激光器的優(yōu)點(diǎn)在于體積小、重量輕、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠、能耗低、效率高、壽命長(zhǎng)、高速調(diào)制,因此半導(dǎo)體激光器在激光通信、光存儲(chǔ)、光陀螺、激光打印、激光醫(yī)療、激光測(cè)距、激光雷達(dá)、自動(dòng)控制、檢測(cè)儀器等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。
半導(dǎo)體激光器工作原理是:通過(guò)一定的激勵(lì)方式,在半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶(導(dǎo)帶與價(jià)帶)之間,或者半導(dǎo)體物質(zhì)的能帶與雜質(zhì)(受主或施主)能級(jí)之間,實(shí)現(xiàn)非平衡載流子的粒子數(shù)反轉(zhuǎn),當(dāng)處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)的大量電子與空穴復(fù)合時(shí)便產(chǎn)生受激發(fā)射作用。半導(dǎo)體激光器的激勵(lì)方式主要有三種:電注入式、電子束激勵(lì)式和光泵浦激勵(lì)式。電注入式半導(dǎo)體激光器一般是由GaAS(砷化鎵)、InAS(砷化銦)、Insb(銻化銦)等材料制成的半導(dǎo)體面結(jié)型二極管,沿正向偏壓注入電流進(jìn)行激勵(lì),在結(jié)平面區(qū)域產(chǎn)生受激發(fā)射。電子束激勵(lì)式半導(dǎo)體激光器一般用N型或者P型半導(dǎo)體單晶(PbS、CdS、ZhO等)作為工作物質(zhì),通過(guò)由外部注入高能電子束進(jìn)行激勵(lì)。光泵浦激勵(lì)式半導(dǎo)體激光器一般用N型或P型半導(dǎo)體單晶(GaAS、InAs、InSb等)作為工作物質(zhì),以其它激光器發(fā)出的激光作光泵激勵(lì)。
目前在半導(dǎo)體激光器件中,性能較好、應(yīng)用較廣的是:具有雙異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電注入式GaAs二極管半導(dǎo)體激光器。
半導(dǎo)體光電器件的工作波長(zhǎng)與半導(dǎo)體材料的種類有關(guān)。半導(dǎo)體材料中存在著導(dǎo)帶和價(jià)帶,導(dǎo)帶上面可以讓電子自由運(yùn)動(dòng),而價(jià)帶下面可以讓空穴自由運(yùn)動(dòng),導(dǎo)帶和價(jià)帶之間隔著一條禁帶,當(dāng)電子吸收了光的能量從價(jià)帶跳躍到導(dǎo)帶中去時(shí)就把光的能量變成了電,而帶有電能的電子從導(dǎo)帶跳回價(jià)帶,又可以把電的能量變成光,這時(shí)材料禁帶的寬度就決定了光電器件的工作波長(zhǎng)。
小功率半導(dǎo)體激光器(信息型激光器),主要用于信息技術(shù)領(lǐng)域,例如用于光纖通信及光交換系統(tǒng)的分布反饋和動(dòng)態(tài)單模激光器(DFB-LD)、窄線寬可調(diào)諧激光器、用于光盤等信息處理領(lǐng)域的可見(jiàn)光波長(zhǎng)激光器(405nm、532nm、635nm、650nm、670nm)。這些器件的特征是:?jiǎn)晤l窄線寬、高速率、可調(diào)諧、短波長(zhǎng)、光電單片集成化等。
大功率半導(dǎo)體激光器(功率型激光器),主要用于泵浦源、激光加工系統(tǒng)、印刷行業(yè)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。
半導(dǎo)體激光器主要參數(shù):
波長(zhǎng)nm:激光器工作波長(zhǎng),例如405nm、532nm、635nm、650nm、670nm、690nm、780nm、810nm、860nm、980nm。
閾值電流Ith:激光二極管開(kāi)始產(chǎn)生激光振蕩的電流,對(duì)小功率激光器而言其值約在數(shù)十毫安。
工作電流Iop:激光二極管達(dá)到額定輸出功率時(shí)的驅(qū)動(dòng)電流,此值對(duì)于設(shè)計(jì)調(diào)試激光驅(qū)動(dòng)電路較重要。
垂直發(fā)散角θ⊥:激光二極管的發(fā)光帶在與PN結(jié)垂直方向張開(kāi)的角度,一般在15?~40?左右。
水平發(fā)散角θ∥:激光二極管的發(fā)光帶在與PN結(jié)平行方向張開(kāi)的角度,一般在6?~ 10?左右。
監(jiān)控電流Im :激光二極管在額定輸出功率時(shí)在PIN管上流過(guò)的電流。
半導(dǎo)體激光器主要向兩個(gè)方向發(fā)展:一類是以傳遞信息為主的信息型激光器;另一類是以提高光功率為主的功率型激光器。在泵浦固體激光器等應(yīng)用的推動(dòng)下,高功率半導(dǎo)體激光器取得了突破性進(jìn)展,其標(biāo)志是半導(dǎo)體激光器的輸出功率顯著增加,國(guó)外千瓦級(jí)的高功率半導(dǎo)體激光器已經(jīng)商品化,國(guó)內(nèi)樣品器件輸出已達(dá)到600W。未來(lái),半導(dǎo)體激光器的發(fā)展趨勢(shì)主要在高速寬激光器、大功率激光器、短波長(zhǎng)激光器、中紅外激光器等方面。
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