在激光切割過程中，產(chǎn)生焦點(diǎn)和被加工對象表面之間相對位置發(fā)生變化的因素很多，被加工工件表面凸凹不平、工件裝夾方式、機(jī)床的幾何誤差以及機(jī)床在負(fù)載力下的變形、工件在加工過程中的熱變形等都會造成激光焦點(diǎn)位置和理想給定位置（編程位置）發(fā)生偏差。

有些誤差（如機(jī)床的幾何誤差）具有規(guī)律性，可以通過定量補(bǔ)償方法進(jìn)行補(bǔ)償，但有些誤差為隨機(jī)誤差，只能通過在線檢測和控制來消除，這些誤差是：

1.工件幾何誤差

激光切割的對象為板材或覆蓋件型零件，由于各種原因的影響，加工對象表面具有起伏不平，且在切割過程中的熱效應(yīng)的影響也會產(chǎn)生薄板零件的表面變形，對于1維激光加工，覆蓋件在壓制成型過程中也會產(chǎn)生表面的不平，所有這些，都會產(chǎn)生激光焦點(diǎn)與被加工對象表面的位置與理想位置發(fā)生隨機(jī)變化。

 
2.工件裝夾裝置產(chǎn)生的誤差

激光切割加工的工件是放在針狀工作臺上，由于加工誤差、長時(shí)間與工件之間的磨損和激光的燒傷，針床會出現(xiàn)凸凹不平，這種不平也會產(chǎn)生薄鋼板和激光焦點(diǎn)之間的位置的隨機(jī)誤差。

3.編程產(chǎn)生的誤差

在1維激光切割加工過程中，復(fù)雜曲面上的加工軌跡是通過直線、圓弧等擬合的，這些擬合曲線和實(shí)際曲線存在一定誤差，這些誤差使得實(shí)際焦點(diǎn)和加工對象表面的相對位置和理想編程位置產(chǎn)生一定誤差。而有些示教編程系統(tǒng)也會引進(jìn)一些偏差。