據(jù)麥姆斯咨詢報道，中國臺灣純代工廠Visual Photonics Epitaxy Co Ltd（VPEC，全新光電）近日宣布為其VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）生產(chǎn)引進了德國柏林廠商LayTec的原位測量產(chǎn)品。
蘋果iPhone X紅外點陣投影器中的VCSEL芯片
LayTec的EpiTT／VCSEL包括兩個光纖測量頭：一個用于標(biāo)準(zhǔn)EpiTT，另一個用于光譜反射率傳感（R－VCSEL）。兩個光纖測量頭均可通過EpiCurve?測量頭上的轉(zhuǎn)接法蘭進行連接EpiCurve?／VCSEL系統(tǒng)，該項設(shè)置可同時集成完整的EpiCurve?TT性能和DBR（分布式布拉格反射鏡）阻帶和腔傾角位置的頻譜監(jiān)測功能。這款四合一計量工具安裝于Aixtron?G3行星式反應(yīng)器頂部。EpiTT／VCSEL和EpiCurve?TT／VCSEL由新型軟件模塊供電，可實現(xiàn)單阱和多阱運行。
為了支持全球3D傳感和其它快速增長的應(yīng)用對VCSEL芯片的需求，LayTec將VCSEL Add－On用于其EpiTT和EpiCurve TT系統(tǒng)，提供了額外的原位光譜反射率傳感，并可在GaAs基和InP基近紅外／紅外（NIR／IR）VCSEL工藝波長范圍內(nèi)進行定制，實現(xiàn)這類高度復(fù)雜的多層結(jié)構(gòu)器件的高良率制造。
VCSEL Add－On也可作為現(xiàn)有EpiTT或EpiCurve TT系統(tǒng)的升級版本。憑借配備先進的實時分析算法，除了EpiTT的晶圓溫度和生長速率監(jiān)測，以及EpiCurve TT的晶圓彎曲測量外，它還能夠在VCSEL外延過程中監(jiān)測DBR（分布式布拉格反射鏡）阻帶和腔傾角位置。
蘋果iPhone X紅外點陣投影器中的VCSEL芯片
來源：《蘋果iPhone X紅外點陣投影器》
“VPEC為VCSEL晶圓制造選擇了LayTec市場領(lǐng)先的原位測量技術(shù)，作為實現(xiàn)我們高標(biāo)準(zhǔn)的品質(zhì)和良率的基本要素，” VPEC高級副總裁Neil Chen評價說，“將現(xiàn)有的晶圓溫度、晶圓彎曲和生長速率控制，結(jié)合新的頻譜監(jiān)測性能，是VCSEL代工廠工藝轉(zhuǎn)移、快速調(diào)整配方和擴大規(guī)模的關(guān)鍵。”
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