11月30日，激光精細微加工設備企業(yè)蘇州德龍激光股份有限公司（以下簡稱“德龍激光”）宣布完成新一輪1.5億元融資，據(jù)了解，該輪融資由沃衍資本聯(lián)和中微公司、中電基金、舜宇V基金等機構(gòu)和企業(yè)共同投資。

記者了解到，在此輪融資前，德龍激光最近一次工商變更是在今年11月18日，彼時公司的注冊資金由6276萬元變更為7752萬元，同時公司的經(jīng)營范圍、辦公地址等也相應進行了調(diào)整。

官網(wǎng)顯示，德龍激光成立于2005年，由中、澳兩方投資創(chuàng)立，主營業(yè)務為研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類高端工業(yè)應用激光設備，尤其是基于紫外激光和超短脈沖激光技術的設備，公司的產(chǎn)品可應用到半導體、顯示、精密電子、高校科研和新能源等精密加工領域。

值得注意的是，德龍激光曾在2015年向證監(jiān)會遞交了招股書，欲創(chuàng)業(yè)板上市，后IPO終止。不過根據(jù)彼時招股書中披露的內(nèi)容，也能一窺德龍激光的產(chǎn)品架構(gòu)。

招股書顯示，德龍激光當時的主要產(chǎn)品包括半導體激光加工設備、現(xiàn)代顯示激光加工設備以及科研等其他激光加工設備。其中在半導體方面，招股書顯示，其主要半導體加工設備包括：晶圓激光切割設備（用于對硅、砷化鎵、氮化鎵的切割，主要用于LED芯片切割制成）、晶圓激光應力誘導設備（用于背鍍LED晶圓切割）、硅晶圓激光應力誘導切割設備（用于硅晶圓切割）以及晶圓激光開槽設備（用于Low-K薄膜晶圓切割）。

德龍激光在招股書中稱，其半導體激光加工設備主要應用于LED芯片制造的劃片環(huán)節(jié)。

與5年前相比，目前德龍激光官網(wǎng)顯示，其應用于半導體領域的激光加工設備還新增了碳化硅晶圓激光切割設備以及玻璃晶圓激光切割設備。

記者了解到，第三代半導體材料比硅材料更加耐高溫耐高壓，發(fā)光效率更好，開關速度更快。但碳化硅、氮化鎵這些第三代半導體本身屬于硬脆性材料，其材料制成的晶圓，在使用傳統(tǒng)的機械式切割Wafer Saw（晶圓劃片）時，極易產(chǎn)生崩邊等不良，影響產(chǎn)品最終良率及可靠性，因此需要使用更有優(yōu)勢的加工方式來替代。

官網(wǎng)顯示，目前德龍激光的碳化硅晶圓激光切割設備利用超短脈沖激光保證了碳化硅晶圓高質(zhì)量。除了德龍激光外，其同行業(yè)上市公司大族激光此前也開發(fā)了對應的全自動改質(zhì)切割設備，其中，碳化硅激光改質(zhì)設備已經(jīng)在廈門三安等客戶端投入生產(chǎn)運用。

另外，招股書顯示，公司激光刻蝕設備為：ITO薄膜激光蝕刻設備。官網(wǎng)顯示，目前公司刻蝕設備還包括超短脈沖LTCC/HTCC鉆孔蝕刻設備。值得注意的是，此次融資的投資方之一中微公司，其身份之一也是刻蝕設備的生產(chǎn)商，擁有電容性等離子體刻蝕設備、電感性等離子體刻蝕設備以及深硅刻蝕設備。

此輪融資前，在德龍激光的股權結(jié)構(gòu)中，公司董事長兼總經(jīng)理趙裕興持股比例為35.29%，為公司第一大股東；公司的早期投資機構(gòu)北京沃衍投資中心（有限合伙）持股16.45%，為第二大股東，另外江陰沃衍投資中心（有限合伙）和無錫悅衍投資中心（有限合伙）分別持股2.76%和2.34%；武漢高投金運激光產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)（有限合伙）（以下簡稱“武漢高投”）持有3.7%的股份，而在武漢高投的股權結(jié)構(gòu)中，上市公司金運激光持股48.76%，其間接持有德龍激光的股份。