15 年前，加州大學(xué)圣巴巴拉分校電氣和材料教授約翰·鮑爾斯（John Bowers）開創(chuàng)了一種將激光器集成到硅片上的方法。此后，該技術(shù)與其他硅光子學(xué)設(shè)備一起被廣泛部署，以取代以前連接數(shù)據(jù)中心服務(wù)器的銅線互連，極大地提高了能源效率。在數(shù)據(jù)流量每年大約增長 25% 的情況下，這無疑是一項重要的工作。

在過去幾年來，鮑爾斯帶領(lǐng)的科研團(tuán)隊一直和瑞士聯(lián)邦理工學(xué)院（EPFL）的 Tobias J. Kippenberg 小組合作，參與了國防高級研究計劃局（DARPA）的直接片上數(shù)字光學(xué)合成器（DODOS）項目。Kippenberg小組發(fā)現(xiàn)了“微梳”（microcombs），即一系列平行、低噪音、高度穩(wěn)定的激光線。激光 microcombs 的許多條線中的每一條都可以攜帶信息，廣泛地倍增了單個激光器可以發(fā)送的數(shù)據(jù)量。

此前有幾個團(tuán)隊已經(jīng)將半導(dǎo)體激光器芯片和一個獨立的氮化硅環(huán)形共振器芯片非常接近地放置在一起，展示了非常緊湊的 microcombs。不過激光器和諧振器仍然需要獨立制造，然后在彼此接近的地方進(jìn)行完全對齊，這是一個昂貴和耗時的過程，因此無法擴(kuò)展。

Bowers 實驗室與 Kippenberg 實驗室合作，開發(fā)了一個集成的片上半導(dǎo)體激光器和諧振器，能夠產(chǎn)生一個激光 microcombs。發(fā)表在新一期《Science》雜志上的一篇題為《Laser soliton microcombs heterogeneously integrated on silicon》的論文，描述了實驗室在成為第一個實現(xiàn)這一目標(biāo)方面的成功。

孤子微梳（Soliton microcombs）是一種光學(xué)頻率梳，它發(fā)射出相互相干的激光線--也就是說，這些激光線彼此之間處于恒定不變的相位。該技術(shù)被應(yīng)用于光學(xué)計時、計量和傳感領(lǐng)域。最近的現(xiàn)場演示包括每秒多比特的光通信、超快光探測和測距（LiDAR）、神經(jīng)形態(tài)計算和用于行星搜索的天體物理光譜儀校準(zhǔn)，僅舉幾例。這是一個強(qiáng)大的工具，通常需要特別高的功率和昂貴的激光器以及復(fù)雜的光學(xué)耦合才能發(fā)揮作用。

這項研究使半導(dǎo)體激光器能夠與低損耗的非線性光學(xué)微諧振器無縫集成--"低損耗 "是因為光可以在波導(dǎo)中傳播而不會因距離而損失大量的強(qiáng)度。不需要光學(xué)耦合，而且該裝置完全由電子控制。重要的是，這項新技術(shù)適合于商業(yè)規(guī)模的生產(chǎn)，因為使用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）兼容技術(shù)，可以在一塊晶圓上制造出成千上萬的裝置。"研究人員說："我們的方法為大批量、低成本制造基于芯片的頻率梳鋪平了道路，用于下一代大容量收發(fā)器、數(shù)據(jù)中心、太空和移動平臺。

制造該設(shè)備的關(guān)鍵挑戰(zhàn)是，半導(dǎo)體激光器和產(chǎn)生梳狀物的諧振器必須建立在不同的材料平臺上。激光器只能用元素周期表上III族和V族的材料制造，如磷化銦，而最好的 microcombs 只能用氮化硅制造。該論文的主要作者主要作者Chao Xiang 解釋道：“因此，我們必須找到一種方法，將它們放在一塊晶圓上”。

在同一塊晶圓上連續(xù)工作，研究人員利用 UCSB 的異質(zhì)集成工藝在硅襯底上制造高性能激光器，以及他們的EPFL合作者使用他們開發(fā)的 "光子大馬士革工藝 "制造記錄超低損耗高Q值氮化硅微諧振器的能力。晶圓規(guī)模的工藝--與制作單個器件然后逐一組合的工藝相反--能夠用一個直徑100毫米的晶圓制作數(shù)千個器件，這一生產(chǎn)水平可以在工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的200毫米或300毫米直徑的基片上進(jìn)一步擴(kuò)大。

為了使該裝置正常工作，必須控制激光器、諧振器和它們之間的光相位，以建立一個基于 "自射鎖定 "現(xiàn)象的耦合系統(tǒng)。Xiang解釋說，激光器的輸出部分被微型諧振器反向反射。當(dāng)來自激光器的光和來自諧振器的背反射光之間達(dá)到一定的相位條件時，激光器被稱為鎖定在諧振器上。

Xiang解釋說，目前的 microcombs 產(chǎn)生了大約二十到三十條可用的 microcombs 線，未來的目標(biāo)將是增加這個數(shù)字，"希望能從每個激光共振器中獲得一百條組合線，而且功耗低"。