9月27日,2021“紅光獎”第四屆中國激光行業(yè)創(chuàng)新貢獻獎頒獎典禮在深圳落下帷幕。大族顯視與半導體憑借創(chuàng)新研發(fā)和專業(yè)服務,經過網絡投票及專家評委評審后,成功入圍并一舉榮獲“激光微加工系統(tǒng)創(chuàng)新貢獻獎”。
激光微加工系統(tǒng)創(chuàng)新貢獻獎
獲獎產品
全自動晶圓激光開槽設備
產品概述:
用于帶Low-K材料或金屬鍍層的晶圓,在晶圓表層開槽,以便于后續(xù)切割。
產品特點:
1.采用超短脈寬激光加工,有效提升開槽效果;
2.整合多種激光微加工技術,切割效率和工藝窗口兼?zhèn)洌?/p>
3.采用復合多光路加工模組,多種切割功能任意組合切換;
4.具備自動上下料功能,無人值守全自動運行,批量化生產;
5.高精度視覺檢測系統(tǒng),保障劃痕位置。
創(chuàng)新與突破:
1.自主研發(fā)的先進光路整形系統(tǒng),極大提升整體工藝效果,達到同類設備領先水平;
2. 突破性的使用綠光皮秒激光器,成功打破國外品牌的技術壁壘;
3. 精確的軟件開關光控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)多種芯片晶圓(MPW)的一次性切割;
4. 在當前同類設備無國產替代,進口設備壟斷整個行業(yè)的情況下,通過自主研發(fā),成功于2018年推出的首臺國產自主開發(fā)low k晶圓開槽設備,填補了國內此類設備的空白。
大族顯視與半導體將繼續(xù)秉持“創(chuàng)新驅動發(fā)展,制造崛起未來”的理念,深耕行業(yè),緊隨市場,在高質量發(fā)展的道路上加速前行!
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