近日，廣東省機械工程學(xué)會在深圳市組織并主持召開了由大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司、東莞理工學(xué)院、深圳市大族半導(dǎo)體測試技術(shù)有限公司、國網(wǎng)湖北省電力有限公司信息通信公司、東南大學(xué)、深圳市淶頓科技有限公司等單位共同完成的“高速高精度激光修調(diào)裝備關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”科技成果鑒定會。

該項目設(shè)計了基于ARM +FPGA和實時總線的硬件架構(gòu)和軟件控制架構(gòu)，提出了電路測量通道的抗干擾濾波電路以及全量程范圍內(nèi)的補償算法，研制了高精度低紋波線性穩(wěn)壓電源；采用測量單元、矩陣板、針卡及相關(guān)線纜等電位屏蔽技術(shù)和多級濾波電路，實現(xiàn)了高精度測量；開發(fā)了一站式管理激光修阻系統(tǒng)軟件，優(yōu)化了激光修調(diào)工藝，實現(xiàn)被動電子元件和功能電路的全系列多功能高精度調(diào)修。

項目實施期間已獲授權(quán)發(fā)明專利21件、登記軟件著作權(quán)3項，具有明顯創(chuàng)新性。鑒定委員會認為，項目成果具有自主知識產(chǎn)權(quán)，整體技術(shù)處于國際先進水平，其中薄膜電阻修調(diào)精度及效率處于國際領(lǐng)先水平，同意通過科技成果鑒定。