“1微米的長度是1毫米的一千分之一。如果在玻璃上‘鉆’出微米級小孔，還能上下互聯(lián)，就能以玻璃為‘樓板’構(gòu)建集成電路的‘高樓大廈’?！?月7日，在位于華工科技智能制造未來產(chǎn)業(yè)園的武漢市半導(dǎo)體激光裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合實驗室內(nèi)，實驗室技術(shù)負(fù)責(zé)人、華工科技半導(dǎo)體產(chǎn)品線總監(jiān)黃偉雙手比劃著向長江日報記者介紹“玻璃通孔技術(shù)”的原理。

華工激光半導(dǎo)體產(chǎn)品線總監(jiān)黃偉在實驗室檢查硅晶圓

目前，他正在帶隊研發(fā)激光誘導(dǎo)微孔設(shè)備，一旦應(yīng)用在先進(jìn)封裝基板產(chǎn)線上，將實現(xiàn)5G通信、MEMS（微電動系統(tǒng)）、RF組件、生物成像和生物傳感等芯片制造。未來，中國人就能用玻璃基板代替一部分傳統(tǒng)硅基板在先進(jìn)封裝中的應(yīng)用，可謂另辟蹊徑。黃偉說：“我們常用《哪吒》里的臺詞互勉：若前方無路，我們便踏出一條路！”

“剛剛召開的全市科技創(chuàng)新大會提出，深化企業(yè)主導(dǎo)的產(chǎn)學(xué)研用深度融合，以應(yīng)用為導(dǎo)向，聚焦重大產(chǎn)業(yè)需求開展技術(shù)研發(fā)攻關(guān)。我和團(tuán)隊都感到干得更有勁了！”黃偉說，“從0到1”靠創(chuàng)新，“從100到100萬”同樣靠創(chuàng)新，而他所在的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合實驗室要解決的就是產(chǎn)業(yè)急需的裝備?！拔覀儾蛔鎏稍谡箯d里供人參觀的‘樣機’，而是攻關(guān)規(guī)模化生產(chǎn)‘100萬’，最終穩(wěn)定可靠高效實現(xiàn)‘玻璃基板上造芯片’?！?/p>

為此，黃偉和平均年齡30歲的團(tuán)隊成員每周轉(zhuǎn)場于實驗室、供應(yīng)商和客戶現(xiàn)場，進(jìn)行各項單元技術(shù)的驗證和整機設(shè)備的開發(fā)，涉及的多方都是實驗室成員。

“協(xié)同一起干件大事，溝通成本顯著降低?！秉S偉介紹，這一裝備里的每一個單元技術(shù)都要根據(jù)客戶需求定制化開發(fā)，確保日后能造出細(xì)分行業(yè)真正需要的芯片產(chǎn)品?！懊刻於荚跍贤ǎ刻於荚诮鉀Q工程化問題，節(jié)奏非?？欤B走路都不由自主小跑。一開啟頭腦風(fēng)暴，回過神，會議預(yù)定時間超了一大半，新點子還在瘋狂冒?！?/p>

“目前有3個團(tuán)隊同時攻關(guān)，大樓里每天都有熱烈的討論聲、音視頻會議的聲音，只爭朝夕。大家內(nèi)心都有個聲音：芯片制造、‘等米下鍋’，就等我們的‘家伙什’了！”武漢市半導(dǎo)體激光裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合實驗室負(fù)責(zé)人、華工科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司總裁助理、中央研究院副院長夏勇說。

據(jù)了解，該產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合實驗室由華工科技領(lǐng)銜，華工激光、華中科技大學(xué)、湖北九峰山實驗室、湖北光谷實驗室、武漢華日精密激光股份有限公司、武漢云嶺光電股份有限公司、長飛先進(jìn)半導(dǎo)體（武漢）有限公司、武漢華工科技投資管理有限公司等單位組建，隱切、退火、檢測裝備等半導(dǎo)體激光裝備都已納入攻關(guān)項目。