快科技6月30日消息,在衛(wèi)星激光通信中,光束控制精度關(guān)乎通信質(zhì)量,快速反射鏡猶如“精密心臟”。
近日,中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研制出集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡,鏡面尺寸大、封裝體積小,性能優(yōu)良,在激光衛(wèi)星通信方面潛力巨大。
該快反鏡歷經(jīng)近五年才研制成功,采用雙層異構(gòu)集成與晶圓級鍵合工藝,體積僅一枚1元硬幣大小。
封裝后的MEMS快反鏡
它攻克傳統(tǒng)機械快反鏡和原有MEMS快反鏡的技術(shù)瓶頸,打造出航天級產(chǎn)品,指向精度達(dá)μrad量級,滿足星載應(yīng)用的超高性能指標(biāo)。
受手機屏幕啟發(fā),團(tuán)隊利用硅壓阻應(yīng)變原理集成片上角度傳感器,通過結(jié)構(gòu)創(chuàng)新使靈敏度提升63%,優(yōu)化光束控制精確性。
測試結(jié)果表明,在特定頻率下,角度精度達(dá)標(biāo),最大動態(tài)表面形變僅2納米。
官方打了一個比方,這就相當(dāng)于在足球場大小的鏡面上,所有起伏不超過一根頭發(fā)絲的直徑,滿足遠(yuǎn)距離衛(wèi)星激光通信對鏡面面型的嚴(yán)苛要求。
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