一顆小小的芯片,可能左右著一個行業(yè),甚至全球科技的格局。杭州一家團隊的技術(shù),為它的生產(chǎn)打下了堅實的基礎(chǔ)。
近日,西湖儀器宣布再次攻克一項技術(shù)難題:通過激光隱切技術(shù),成功剝離出厚度小于100微米的超薄金剛石單晶片。
100微米是個什么概念?約等于一根頭發(fā)絲的直徑或者一張A4紙的厚度。
單晶金剛石屬于高硬脆材料,再加上它的解理面與晶圓切片方向存在較大角度差異,這使得剝離更具挑戰(zhàn)。西湖儀器利用激光在金剛石材料內(nèi)部進行精確的非接觸改性加工,從而實現(xiàn)超薄片的分離。
西湖儀器的技術(shù),來源于西湖大學(xué)仇旻教授團隊。公司成立之初,研發(fā)團隊便攻克了碳化硅襯底激光剝離技術(shù),僅用3年時間就完成碳化硅襯底激光剝離設(shè)備的技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用驗證和商業(yè)化落地。
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