相干公司最新推出IndyStar 2kHz準(zhǔn)分子激光器，已完全通過(guò)Semi S2認(rèn)證，采用了幾種新的輸出穩(wěn)定化技術(shù)以促進(jìn)工藝提高，使其成為半導(dǎo)體制造、測(cè)試、檢驗(yàn)以及微加工等應(yīng)用的理想選擇。該激光器具備193nm (ArF)、8W穩(wěn)定輸出，以及248nm (KrF)、12W穩(wěn)定輸出的兩個(gè)型號(hào)。

    IndyStar 2kHz采用了一個(gè)先進(jìn)的電子平臺(tái)以實(shí)現(xiàn)POWERLOK和TIMELOK這兩種新的穩(wěn)定化輸出技術(shù)。POWERLOK技術(shù)確保每個(gè)脈沖的能量一致性，特別適合于需要使用特定脈沖串的應(yīng)用。TIMELOK提供了非凡的脈沖觸發(fā)延時(shí)的穩(wěn)定性，因而適用于需要與其他設(shè)備嚴(yán)格同步的應(yīng)用。由于采用了經(jīng)過(guò)業(yè)界驗(yàn)證的ALMETA （全金屬陶瓷) 腔技術(shù)，保證了IndyStar系列激光器的超低運(yùn)營(yíng)成本以及長(zhǎng)壽命和高可靠性的特點(diǎn)。

    IndyStar 2 kHz在諸如光掩膜檢查以及光刻鏡片測(cè)試等應(yīng)用方面顯示了更快、更好的效果。也可以實(shí)現(xiàn)在包括精確材料去除和標(biāo)記等高速加工方面的應(yīng)用。