隨著光纖激光器技術(shù)的成熟和成本快速下降,傳統(tǒng)加工系統(tǒng)設(shè)備越來(lái)越多地轉(zhuǎn)向采用光纖激光器。因此,在去年國(guó)內(nèi)不少風(fēng)投、相關(guān)企業(yè)扎堆進(jìn)入了光纖激光器的研發(fā)與生產(chǎn),國(guó)內(nèi)光纖激光器產(chǎn)業(yè)一時(shí)間成為了最熱門的投資領(lǐng)域。
國(guó)神光電這家于2011年初剛剛成立的新企業(yè),也專注于光纖激光器研發(fā),并在2011年年底推出了適用于半導(dǎo)體、液晶顯示器等超精密切割加工的中國(guó)第一臺(tái)商用化飛少光纖激光器。國(guó)神光電總經(jīng)理周士安博士對(duì)光纖在線的編輯說(shuō),國(guó)內(nèi)光纖激光器的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)太激烈了,他們選擇從10ns以下的用于超精密加工市場(chǎng)的超短脈沖光纖激光器著手,差異化專注于小眾市場(chǎng)。
超短脈沖光纖激光技術(shù)已有20多年的發(fā)展歷程,直到近幾年才開(kāi)始在工業(yè)界應(yīng)用。主要原因在于研發(fā)飛秒、皮秒光纖激光器需要深厚的理論知識(shí)背景(尤其是非線性光學(xué)知識(shí))和相關(guān)的實(shí)驗(yàn)背景積累。因此,國(guó)神光電科技的研發(fā)團(tuán)隊(duì)中,超過(guò)50%的研發(fā)人員來(lái)自于積累多年激光器開(kāi)發(fā)研究的外企及留學(xué)生背景,公司采取全員股份制,注重團(tuán)隊(duì)的力量。
周博士介紹說(shuō)選擇從超精密加工市場(chǎng)入手,是因?yàn)榭吹絿?guó)內(nèi)光纖激光器的市場(chǎng)異常地?zé)狒[,國(guó)神光電科技還是一個(gè)注重研發(fā)的小型企業(yè),通過(guò)走量不適合他們,所以聚焦于小眾的市場(chǎng)更符合他們的現(xiàn)狀。雖然國(guó)內(nèi)的天大,和一些光機(jī)所已經(jīng)在早些年間著手于超短脈沖(飛秒)光纖激光器的研究,但仍處于實(shí)驗(yàn)試階段,無(wú)真正意義上的商用。而國(guó)神光電于2011年底推出的高功率飛秒光纖激光器,成為中國(guó)第一臺(tái)商業(yè)化的產(chǎn)品。
他舉例說(shuō)超短脈沖(飛秒)光纖激光器在芯片加工領(lǐng)域的應(yīng)用。雖然目前激光晶圓切割技術(shù)中,紫外(UV)納秒激光器仍占據(jù)主導(dǎo)地位,但由于紫外納秒激光切割時(shí),所產(chǎn)生的熱效應(yīng)對(duì)晶圓產(chǎn)生壓力和張力,使得切割端面較為粗糙,從而降低了器件的壽命和可靠性。所以國(guó)神光電科技利用超短脈沖(飛秒)光纖激光器切割晶圓,在納秒時(shí)間內(nèi)對(duì)熱量沉積進(jìn)行有效控制,并且選擇合適的工藝參數(shù),以避免為增加產(chǎn)量提高激光重復(fù)頻率所導(dǎo)致的熱累積效應(yīng)。從而可以消除納秒激光脈沖在切割區(qū)域外所產(chǎn)生的熱擴(kuò)散。
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