2 檢驗結(jié)果
當(dāng)?shù)犊趦x恰好切在計算出的位置時,會出現(xiàn)如下現(xiàn)象。
(1)當(dāng)?shù)犊谧杂蚁蜃笄懈罟馐鴷r(我國刀口儀普遍自右向左切割),紅黑交界處,相應(yīng)鏡面上有高或低的頂點(與球心在刀口的球面波相比較),形成高帶。
(2)當(dāng)光束由凸面反射時,由于是內(nèi)反射檢驗,刀口切割的是經(jīng)透鏡會聚后的光束,此時對于高低點的判斷原則與利用刀口儀對凹面鏡鏡型反射檢驗的判斷原則是完全相反的即鏡面右黑左紅的交界處為高,右紅左黑處交界處為低。
(3)透射檢驗的陰影圖除反映光學(xué)元件
表面加工情況外還可進(jìn)一步反映玻璃的材料的內(nèi)部均勻性。
根據(jù)以上計算結(jié)果進(jìn)行實際操作檢驗,使用刀口儀的時特別值得注意的是由于透射會產(chǎn)生色散需在刀口儀的觀測處加一塊單色玻璃(ZEMAX中選定的計算波長應(yīng)與此單色光源波長一致),這樣可以消除色散給觀測帶來干擾有助于提高檢驗精度。
刀口儀檢驗的像質(zhì)評價如圖 3~6 所示。
圖 4 給出了系統(tǒng)的波前像差,圖 5 給出了傳遞函數(shù)圖。
由像質(zhì)評價圖可見,利用刀口儀對凸透鏡進(jìn)行透射檢驗精度較高,光線完全可自準(zhǔn)回來,從而可以用刀口儀對凸透鏡進(jìn)行透射檢驗。
3 結(jié)語
對于凸透鏡的檢驗,本文提出了刀口儀陰影法檢驗凸透鏡的方法,陰影法檢驗凸透鏡有如下優(yōu)點。
(1)所需設(shè)備簡單,不被檢驗面口徑大小限制,可直接檢驗凸透鏡表面及光學(xué)材料內(nèi)部均勻性。
(2)檢驗精度高,可發(fā)現(xiàn)小于λ /10 的波面缺陷。
(3)檢驗時刀口儀不需與鏡面接觸,所以不會劃傷鏡面。這對保證鏡面光潔度十分有利 。
( 4 ) 檢驗速度快,刀口儀放好后,進(jìn)行切割立刻發(fā)現(xiàn)鏡面缺陷及所在部位。
(5)為提高檢驗精度,可以用 CCD 接收陰影圖。
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