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激光組件與材料

Gigaphoton研發(fā)出穩(wěn)定運(yùn)行24小時的EUV掃描儀

星之球激光 來源:光學(xué)期刊網(wǎng)2015-12-18 我要評論(0 )   

  日本半導(dǎo)體曝光設(shè)備用光源領(lǐng)域的大型廠商Gigaphoton稱其EUV光源掃描儀實現(xiàn)了連續(xù)運(yùn)行和穩(wěn)定發(fā)射:激光驅(qū)動等離子光源原型實現(xiàn)了輸出達(dá)108W,平均能量穩(wěn)定性為0.5%的...


  日本半導(dǎo)體曝光設(shè)備用光源領(lǐng)域的大型廠商Gigaphoton稱其EUV光源掃描儀實現(xiàn)了連續(xù)運(yùn)行和穩(wěn)定發(fā)射:激光驅(qū)動等離子光源原型實現(xiàn)了輸出達(dá)108W,平均能量穩(wěn)定性為0.5%的結(jié)果。
  Gigaphoton副總裁兼首席技術(shù)官Hakaru Mizoguchi表示:“我們成功研發(fā)出持續(xù)運(yùn)作24小時、輸出達(dá)108W的EUV光源掃描儀,說明了我們正在接近完成低成本、高輸出穩(wěn)定運(yùn)行的EUV光源的研發(fā);而這也正是半導(dǎo)體廠商所需要的。”
  這一成果建立在一些關(guān)鍵技術(shù)基礎(chǔ)上:例如能生成直徑為20微米或更小錫滴的液滴生成器、固態(tài)預(yù)脈沖及主脈沖CO2激光器以及采用磁場與能量控制技術(shù)的碎片減緩技術(shù)等。
  位于日本筑波的超紫外光刻基礎(chǔ)設(shè)施研發(fā)中心(EIDEC)也在使用Gigaphoton公司的EUV光源。
  Gigaphoton公司計劃在2015年底研發(fā)出250W級別高輸出實驗裝置,這也是內(nèi)存儲設(shè)備量產(chǎn)所需的技術(shù)。
  Mizoguchi表示:“我可以肯定的是當(dāng)我們將該技術(shù)推向市場的時候,也就是下一代曝光技術(shù)出現(xiàn)的時候;同時我也相信將極大地改善半導(dǎo)體的性能,并作為支持信息技術(shù)的核心技術(shù)為行業(yè)的發(fā)展帶來劃時代的貢獻(xiàn)。”
 

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GigaphotonEUV掃描儀等離子光源
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