激光電視、激光投影儀等激光顯示器是極具吸引力的產(chǎn)品，有望擴(kuò)大激光二極管(ld)的應(yīng)用領(lǐng)域。尤其是小型激光投影機(jī)，成為創(chuàng)新產(chǎn)品的潛力很大。

最近，手機(jī)內(nèi)嵌的小型激光投影儀和汽車(chē)儀表板上的投影儀備受關(guān)注。還提出了許多其他有趣的應(yīng)用。組裝那些小型激光投影儀，非常緊湊型激光器是實(shí)現(xiàn)紅、綠、藍(lán)三原色光的必要光源。對(duì)于紅色和藍(lán)色，利用激光二極管是一種非常簡(jiǎn)單和緊湊的方法。對(duì)于綠色，通常使用紅外激光輸出的二次諧波。二極管泵浦固體激光器或波長(zhǎng)穩(wěn)定激光器是紅外發(fā)射器的備選方案。這些緊湊型激光器的亮度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)光源、塊狀光源或發(fā)光二極管。這種高亮度使投影機(jī)光學(xué)元件的尺寸最小化，而不需要花費(fèi)大量的投影機(jī)光通量和投影圖像的亮度。此外，該激光器的壁插效率(WPE)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)光源。電池壽命是移動(dòng)產(chǎn)品最重要的指標(biāo)之一。高亮度和高WPE不僅是激光器的優(yōu)勢(shì)，也是對(duì)激光器的重要要求。

在可見(jiàn)紅光的波長(zhǎng)范圍內(nèi)，人們希望波長(zhǎng)越短，亮度越高，因?yàn)殡S著光源波長(zhǎng)越短，人眼的靈敏度越高。一個(gè)660nm激光二極管是很好的開(kāi)發(fā)和商業(yè)化的DVD光盤(pán)拾取應(yīng)用。然而，對(duì)于顯示應(yīng)用來(lái)說(shuō)，更短的波長(zhǎng)(~ 640 nm)是必要的，因?yàn)?40 nm的眼睛靈敏度幾乎是660 nm的三倍。640nm LD的輸出功率要求至少大于50mw。但這取決于投影儀的實(shí)現(xiàn)方法。

對(duì)于~ 640 nm的激光波長(zhǎng)，一般采用AlGaInP材料體系。由于有源層與包層之間的導(dǎo)帶偏移較小，因此限制AlGaInP LD WPE的主要因素是由有源層載流子泄漏引起的熱飽和。此外，較小的偏移是由于較短的波長(zhǎng)導(dǎo)致的，因?yàn)樵谟性磳又杏休^高的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)。因此，對(duì)泄漏的抑制是迫切需要實(shí)現(xiàn)高WPE的短波AlGaInP LD。窄條紋AlGaInP LD最大輸出的主要限制是小面鏡的災(zāi)難性光學(xué)損傷(COD)。為了在光面處實(shí)現(xiàn)高亮度的高密度光功率，光面鈍化是克服COD退化的重要手段。

幾種已知的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)一個(gè)小型激光顯示器。其中一種我們稱(chēng)之為鏡面掃描法。該方法利用MEMS反射鏡對(duì)準(zhǔn)直激光束進(jìn)行掃描。屏幕上的激光束光斑被快速移動(dòng)掃描鏡像并形成鏡像。在掃描過(guò)程中，每種顏色的激光功率被調(diào)整為用a表示一個(gè)像素正確的顏色。這種方法需要在屏幕上有一個(gè)小光束點(diǎn)。因此，單側(cè)模和衍射受限激光輸出優(yōu)先。在這項(xiàng)工作中，我們采用窄脊條紋結(jié)構(gòu)的紅色LD來(lái)控制橫向模式。

窄脊LD的示意圖如圖1所示。在n型錯(cuò)位GaAs上生長(zhǎng)外延層以防止AlGaInP自發(fā)有序。采用低折射率的AlInP包層對(duì)導(dǎo)光波進(jìn)行了強(qiáng)約束。有源層較大的光約束系數(shù)降低了閾值載流子密度。LD芯片寬度為200 μm，腔長(zhǎng)度為1500 μm。將芯片組裝成5.6φTO封裝，采用結(jié)面朝下配置，采用AuSn焊料并安裝。Zn做非吸收窗口工藝，用Zn做離子摻雜源、通過(guò)高溫退火，提高端面的能隙。電極完成后，解離鍍AR和HR膜。