在工件表面污染物中,工件表面附著物與表面之間的結(jié)合主要是由于存在以下各種力:共價鍵、雙偶極子、毛細(xì)作用、氫鍵、吸附力和靜電力等。其中毛細(xì)力、吸附力和靜電力是最難破壞的,激光清洗技術(shù)就是要克服這幾種力。
由于物體表面附著物的成分和結(jié)構(gòu)復(fù)雜,激光與之作用的機理也各不相同,用于對此作解釋最常用的理論模型有以下幾種:
1光氣化/光分解
激光器產(chǎn)生的激光,經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)的聚光可以實現(xiàn)能量的高度集中,聚焦后的激光束在焦點附近可產(chǎn)生幾千度甚至幾萬度的高溫,使物體表面附著物瞬間氣化或分解。
2光剝離
通過激光的作用使物體表面附著物受熱膨脹,當(dāng)物體表面附著物的膨脹力大于其與基體之間的吸附力時,物體表面附著物便會從物體的表面脫離。
3光振動
目前,激光清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)并沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn),需要根據(jù)實際的清洗方法、基材和污物的種類、清洗要求的效果等因素來決定,但是,它們在一些基本的結(jié)構(gòu)上還是大致相同的,主要包括激光器、移動平臺、實時監(jiān)測系統(tǒng)、半/自動控制操作系統(tǒng)及其他輔助系統(tǒng)等部分。
國外激光清洗的去污范圍非常廣泛,從厚銹層到激光表面微細(xì)顆粒都可以去除,在去污中涉及激光清洗實驗所使用的設(shè)備種類也比較多,所用激光器的波長范圍廣,但激光清洗技術(shù)的發(fā)展不平衡,有些已實現(xiàn)工業(yè)化,有的還處于實驗室階段。
例如國外在激光模具的清洗方面,已經(jīng)發(fā)展到1000 W激光手動清洗機;
電子線路清洗采用248 nm激光,3 W,20 ns,已經(jīng)工業(yè)化;
在芯片領(lǐng)域,采用248 nm,5 W納秒紫外清洗,效果非常好;
在光掩膜,采用紫外激光,已經(jīng)完全取代傳統(tǒng)化學(xué)方法;
在激光除銹、激光除污染物方面,已經(jīng)規(guī)?;瘧?yīng)用,而且實驗先于理論。另外在半導(dǎo)體領(lǐng)域、磁頭和絕緣體領(lǐng)域已經(jīng)開始實驗驗證。
德國Cleanlaser公司近年來致力于研究可以實現(xiàn)塑膠射出模和橡膠硫化模具線上,線上、高溫清洗垢激光清洗設(shè)備,下面根據(jù)其所使用激光器的功率級別,其中Cleanlaser公司、P-laser公司最為著名,以下介紹幾種典型的激光清洗系統(tǒng)的性能和特點。
Cleanlaser產(chǎn)品類型
激光清洗技術(shù)的前景預(yù)測:激光清洗技術(shù)的出現(xiàn),開辟了激光技術(shù)在工業(yè)應(yīng)用的新領(lǐng)域,它在微電子、建筑、核電站、汽車制造,醫(yī)療、文物保護等領(lǐng)域的開發(fā)方興未艾,應(yīng)用市場前景廣闊,我國在大型件激光加工技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用已初具規(guī)模,在鋼鐵除銹和模具去污方面的應(yīng)用還是空白,而激光清洗技術(shù)在汽車制造、建筑等領(lǐng)域的市場仍在開發(fā)之中,目前雖然還難以詳細(xì)估計激光清洗技術(shù)的應(yīng)用市場份額,但上述領(lǐng)域不少屬于國民經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè),激光清洗技術(shù)添入其中后,產(chǎn)生的經(jīng)濟效益和社會效益是十分可觀的,利用我國現(xiàn)有的激光技術(shù)條件,開發(fā)配套的激光清洗設(shè)備,并使其在短時間內(nèi)實用化、產(chǎn)業(yè)化、是完全可能的,對推動高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展本身亦具有重要意義。 (作者:龔傳波 南京帝耐激光科技有限公司)
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