位于中國(guó)泰州的人臉識(shí)別VCSEL研發(fā)和制造廠商華芯半導(dǎo)體選擇牛津儀器等離子技術(shù)公司（OIPT）的Cobra等離子蝕刻設(shè)備。
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，牛津儀器等離子技術(shù)公司（Oxford Instruments Plasma Technology，簡(jiǎn)稱OIPT）近日宣布，華芯半導(dǎo)體（Sino－semic）已經(jīng)選擇了其Cobra等離子蝕刻設(shè)備，用于VCSEL產(chǎn)品的批量生產(chǎn)。
華芯半導(dǎo)體員工全部是中國(guó)本土培養(yǎng)的優(yōu)秀人才，其中VCSEL產(chǎn)品研發(fā)團(tuán)隊(duì)有30多人，具有博士學(xué)位或中高級(jí)職稱的骨干成員超過10人，在器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、外延生長(zhǎng)、芯片制程、封裝測(cè)試、可靠性分析等方面都有行業(yè)內(nèi)頂尖的領(lǐng)軍人物。團(tuán)隊(duì)核心成員主要畢業(yè)于中國(guó)科學(xué)院，有多人先后承擔(dān)973、863等國(guó)家重大項(xiàng)目以及自然科學(xué)基金等國(guó)家級(jí)科研項(xiàng)目。
2017年中旬，華芯半導(dǎo)體全自主開發(fā)的VCSEL開始提供客戶測(cè)試；同年年底，850nm 10G VCSEL芯片開始批量出貨，并且進(jìn)行940nm VCSEL項(xiàng)目立項(xiàng)。今年，940nm VCSEL芯片已經(jīng)進(jìn)入批量出貨階段。
華芯半導(dǎo)體副總經(jīng)理李軍表示：“無與倫比的工藝能力和響應(yīng)積極的本地支持是我們選擇OIPT等離子刻蝕設(shè)備的原因，這對(duì)于VCSEL的批量生產(chǎn)非常重要。”
Cobra工藝解決方案旨在支持前沿器件研發(fā)和應(yīng)用，如激光器、射頻、電源、高端LED等。
“基于VCSEL的消費(fèi)類電子設(shè)備正在進(jìn)入一個(gè)令人興奮的增長(zhǎng)階段，” OIPT董事總經(jīng)理Richard Pollard表示，“我們很高興為中國(guó)先進(jìn)的激光器生產(chǎn)制造商（如華芯半導(dǎo)體）提供我們的VCSEL工藝解決方案！”
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