光刻機(jī)是制作高精度掩模版的關(guān)鍵設(shè)備。使用極細(xì)的激光光束,在極其精密自動(dòng)控制系統(tǒng)控制下于掩模版基材上繪制出高精密線路圖形。激光直寫(xiě)是利用強(qiáng)度可變的激光束對(duì)基片表面的抗蝕材料(光刻膠)實(shí)施變劑量曝光,顯影后在抗蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓。激光直寫(xiě)光刻系統(tǒng)的基本工作原理是由計(jì)算機(jī)控制高精度激光束掃描,在光刻膠上直接曝光寫(xiě)出所設(shè)計(jì)的任意圖形,從而把設(shè)計(jì)圖形直接轉(zhuǎn)移到掩模上。激光直寫(xiě)光刻機(jī)是一種用于物理學(xué)、信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、材料科學(xué)、機(jī)械工程領(lǐng)域的儀器,該設(shè)備是基于空間光調(diào)制器的直寫(xiě)光刻設(shè)備,用于制作光刻掩膜。傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商提供,但是在研發(fā)環(huán)境中,掩膜板的設(shè)計(jì)通常需要經(jīng)常改變。無(wú)掩膜光刻技術(shù)通過(guò)以軟件設(shè)計(jì)電子掩膜板的方法,克服了這一問(wèn)題。與通過(guò)物理掩膜板進(jìn)行光照的傳統(tǒng)工藝不同,激光直寫(xiě)是通過(guò)電腦控制一系列激光脈沖的開(kāi)關(guān),在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。


2022年全球激光直寫(xiě)光刻設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了113.42百萬(wàn)美元,預(yù)計(jì)2029年將達(dá)到160.25百萬(wàn)美元,2023-2029年復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)為5.21%。
地區(qū)層面來(lái)看,中國(guó)市場(chǎng)在過(guò)去幾年變化較快,2022年市場(chǎng)規(guī)模為17.32百萬(wàn)美元,約占全球的15.27%,預(yù)計(jì)未來(lái)幾年增長(zhǎng)較快,預(yù)計(jì)2029年將達(dá)到28.68百萬(wàn)美元,2023-2029年復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)為7.91%,屆時(shí)全球占比將達(dá)到17.89%。從產(chǎn)品類(lèi)型及技術(shù)方面來(lái)看,2022年2D系統(tǒng)銷(xiāo)量占據(jù)92.14%的比例,2022年銷(xiāo)量為213臺(tái),預(yù)計(jì)2029年為328臺(tái)。3D系統(tǒng)預(yù)計(jì)銷(xiāo)量增速較快,3D系統(tǒng)2022年銷(xiāo)量為18臺(tái),預(yù)計(jì)2029年為35臺(tái)。市場(chǎng)規(guī)模上看,2022年2D系統(tǒng)全球市場(chǎng)規(guī)模為101.20百萬(wàn)美元,3D系統(tǒng)全球市場(chǎng)規(guī)模為12.22百萬(wàn)美元。價(jià)格上看,2022年2D系統(tǒng)銷(xiāo)售均價(jià)為475千美元每臺(tái),3D系統(tǒng)銷(xiāo)售均價(jià)為673千美元每臺(tái),2022年激光直寫(xiě)光刻設(shè)備均價(jià)為491千美元每臺(tái)。預(yù)計(jì)未來(lái)激光直寫(xiě)光刻設(shè)備價(jià)格將呈現(xiàn)下降趨勢(shì),預(yù)計(jì)2029年2D系統(tǒng)單價(jià)為423千美元每臺(tái),3D系統(tǒng)單價(jià)為621千美元每臺(tái),兩種類(lèi)型激光直寫(xiě)光刻設(shè)備價(jià)格均下降,但3D系統(tǒng)價(jià)格下降幅度相較之下略小。從產(chǎn)品市場(chǎng)應(yīng)用情況來(lái)看,用于掩膜版制造的激光直寫(xiě)光刻設(shè)備2022年銷(xiāo)售收入為35.25百萬(wàn)美元,占比最高,其次是IC封裝、FPD制造、微機(jī)電和其他應(yīng)用,分別為28.41 、25.84 、6.99 和16.93百萬(wàn)美元,預(yù)計(jì)2029年這些應(yīng)用端銷(xiāo)售收入分別為39.89 、35.61 、9.84 和24.45百萬(wàn)美元,其中微機(jī)電和其他應(yīng)用(如生物醫(yī)學(xué)、微制造等)增長(zhǎng)較快,年復(fù)合增長(zhǎng)率(CAGR)分別為5.53%和5.49%。目前全球主要廠商包括Heidelberg Instruments、Raith (4PICO Litho)、Mycronic、Ushio Inc.和SCREEN Holdings等,2022年前五大廠商銷(xiāo)售收入為65.12百萬(wàn)美元,份額占比達(dá)到57.41%,預(yù)計(jì)未來(lái)幾年行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)將更加激烈,尤其在中國(guó)市場(chǎng)。總體來(lái)看,該行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè),資本投入大、研發(fā)周期長(zhǎng)、人才稀缺都是其典型特點(diǎn)。從行業(yè)發(fā)展來(lái)說(shuō),激光直寫(xiě)光刻設(shè)備當(dāng)前趨勢(shì)較好,且替代掩膜版光刻設(shè)備優(yōu)勢(shì)大,市場(chǎng)空間較大。在國(guó)家層面而言,歐洲、日本、中國(guó)等是主要的生產(chǎn)國(guó)。從中國(guó)激光直寫(xiě)光刻設(shè)備廠商發(fā)展而言,技術(shù)積累、人才儲(chǔ)備、客戶(hù)資源積累、銷(xiāo)售渠道拓展和自身宣傳等都是企業(yè)發(fā)展重要的影響因素,此外,企業(yè)也需要對(duì)上下游市場(chǎng)現(xiàn)狀有充分認(rèn)識(shí),如下游半導(dǎo)體、PCB等行業(yè)景氣度變化等因素,將是影響企業(yè)收入和利潤(rùn)的重要因素。