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據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，武漢光迅科技股份有限公司申請一項(xiàng)名為“一種新型結(jié)構(gòu)的熱調(diào)諧激光器芯片及其制作方法“，公開號CN117154531A，申請日期為2022年5月。

專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種新型結(jié)構(gòu)的熱調(diào)諧激光器芯片及其制作方法。其中包括襯底和依次生長在襯底之上的多個功能層，具體的：激光器的脊波導(dǎo)位于其出光的軸向上，在脊波導(dǎo)的兩側(cè)溝道中分別設(shè)置貫穿所有功能層直至聯(lián)通至襯底的第一隔熱凹槽，且脊波導(dǎo)下方的至少一個功能層被挖空形成空洞隔溫區(qū)域；其中，所述空洞隔熱區(qū)域是通過在脊柱兩側(cè)刻蝕出至少一對第二隔熱凹槽之后，腐蝕穿一對第二隔熱凹槽之間的至少一個功能層形成；并且，所述空洞隔熱區(qū)域的兩側(cè)與所述第一隔熱凹槽相鄰。本發(fā)明避免了芯片內(nèi)部的熱量散失，提高芯片的隔溫效果和芯片的熱調(diào)諧效率。

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光迅科技申請熱調(diào)諧激光器芯片專利，提高芯片的隔溫效果和熱調(diào)諧效率