深紫外全固態(tài)激光器，是指激光波長在200nm以下的固體激光器，與同步輻射和氣體放電光源相比，其具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。深紫外激光器光源對(duì)于現(xiàn)代科技發(fā)展非常重要，例如193nm光刻技術(shù)、納米微加工技術(shù)、原子和離子的激光冷卻技術(shù)、以及各種現(xiàn)代化儀器。長期以來，深紫外激光器(<200nm)一直缺乏實(shí)用化和精密化，因此制約了深紫外波段科學(xué)儀器和前沿科研的發(fā)展。

20世紀(jì)90年代初，中國科學(xué)院開始組織力量研究深紫外非線性光學(xué)晶體和激光技術(shù)。經(jīng)過20多年努力，我國科學(xué)家在國際上首次實(shí)現(xiàn)KBBF晶體倍頻輸出深紫外激光，并發(fā)明棱鏡耦合技術(shù)，最終開發(fā)出實(shí)用化的深紫外固態(tài)激光器，使中國成為當(dāng)今世界上唯一掌握深紫外全固態(tài)激光技術(shù)的國家。基于此項(xiàng)技術(shù)，我國科學(xué)家已成功研制出深紫外激光拉曼光譜儀、深紫外激光發(fā)射電子顯微鏡等深紫外激光器系統(tǒng)的前沿裝備，均為當(dāng)今世界所獨(dú)有的科研利器，居深紫外領(lǐng)域國際領(lǐng)先地位。

 深紫外固態(tài)激光技術(shù)的突破為中國新型科學(xué)儀器的研發(fā)提供了難得機(jī)遇。“十二五”規(guī)劃中，旨在提高我國科學(xué)儀器設(shè)備自主創(chuàng)新能力，支撐科技創(chuàng)新、服務(wù)經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)已經(jīng)啟動(dòng)。這一專項(xiàng)的實(shí)施，有望改變我國在高端科研儀器設(shè)備大多依靠進(jìn)口的尷尬局面。