本文利用鍍光學薄膜的方法來改變鍍層厚度，可以有效地將原來處于雙模工作的1.3μm DFB激光器變?yōu)閱文９ぷ?。模式改變起主導作用的是加鍍膜層影響?span id="2cub01x" class="hrefStyle">激光器端面反射特性中的相移。實驗表明，鍍膜技術可望成為改善DFB激光器單模工作的一種輔助方法。實驗結果有助于理解相移對激射特性的作用。

　　1　引　言

　　DFB激光器在較寬的工作溫度和電流范圍內，能抑制普通腔半導體激光器常見的模式跳變，有很高的邊模抑制比，特別是在高速調制下仍保持單縱模特性，成為動態(tài)單模的激光器，是光長距離，寬帶高速光通訊系統(tǒng)中較理想的光源。因此在快速發(fā)展的光電子領域中受到極大重視。

　　到目前為止，已經報導了許多能使DFB激光器實現(xiàn)單模工作的方法。其中最為現(xiàn)實和容易實現(xiàn)的方法是在激光器解理端面鍍光學膜，使激光器兩個端面的反射成為不對稱結構，從而可使單模工作的幾率得到改善。就是說，DFB激光器端面上鍍光學薄膜，對單模工作是相當重要的。

　　眾所周知，DFB激光器激射所需要的反饋，是由整個腔上光柵的分布反射提供的。光柵在解理端面處的位相會對激光器的特性起著重要的影響。這樣的事實已為用離子束刻蝕的方法把激光器端面刻掉不同深度，并通過研究閾值電流及縱模特性所得到的結果所證實。在解理端面上鍍光學膜的方法是可以控制DFB激光器端面相位的。

　　本文報導了在常規(guī)的制作工藝中，激光器一個端面鍍高反射膜(HR)，另一端面鍍抗反射膜(AR)，仍有個別激光器的工作還為雙模的情況下，再適當增加單層膜的厚度，可使它們實現(xiàn)單模工作。實驗證明，鍍膜技術可成為提高DFB激光器單縱模工作的一種輔助手段。

　　2　實　驗

　　本實驗用的DFB激光器的基本結構如圖1所示。DFB激光器是一個端面用電子束蒸發(fā)鍍有多層介質高反射膜(HR)，光輸出端面鍍有單層厚度為λ/4的增透膜(AR)。圖中的n1，n2和n0分別表示激光器波導區(qū)，增透膜和空氣的折射率。1是指示激光器的解理面與增透膜的界面，2是指增透膜和空氣的界面。實驗樣品是在某批次中大部分器件已處于單縱模工作狀態(tài)下，出現(xiàn)雙模工作的那些器件。

　　從薄膜光學原理知道，單層光學膜的反射系數(shù)r可用復數(shù)形式表示為：

       其中r 和Φ是反射系數(shù)的振幅和相位，r1和r2是界面1和界面2的反射系數(shù)，δ2是薄膜的位相厚度，d2是單層增透膜的厚度?？紤]到激光器發(fā)射的光是垂直透過單層增透膜的。這樣，反射系數(shù)和位相厚度可表示為r1=(n1-n2)/(n1+n2)，r2=(n2-n0)/(n2+n0)和δ2=(2π/λ)n2d2。

　　這些關系清楚地表明，在增透膜的折射率n2被選定后，改變光學膜的厚度即改變了位相厚度。這既改變了反射系數(shù)的振幅，也改變了單層膜反射系數(shù)的相位。光學膜的與光柵在端面的反射振幅和位相的作用結合起來，共同影響與激射特性有關的激光器端面的反射系數(shù)振幅和位相。

　　實驗過程中，首先測量樣品的光譜特性和輸出特性，然后在已鍍單層膜的端面上再鍍適當厚度。實驗樣品是1.3μm DFB激光器。圖2是一個樣品在實驗前測量的光譜特性。在這種情況下，根據經驗將膜厚增加10～20nm后，單模工作會得到改善。膜厚是由控制蒸發(fā)速率的石英晶體振蕩控制儀(IC6000)指示的。根據圖2所示的光譜特性，該實驗是取了14nm。加鍍過膜之后再對樣品進行測量分析。