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紫外激光器

相干公司推出用于微電子制造最高功率紫外激光器

激光制造網(wǎng) 來源:激光制造網(wǎng)2013-03-07 我要評論(0 )   

激光制造網(wǎng)3月7日消息:相干公司最新的AVIATM微加工激光器可以在其工作波長和頻率下輸出目前工業(yè)用激光器可得到的最高功率。AVIA 355-33可輸出335 nm(110 kHz),33瓦...

       激光制造網(wǎng)3月7日消息:相干公司最新的AVIATM微加工激光器可以在其工作波長和頻率下輸出目前工業(yè)用激光器可得到的最高功率。AVIA 355-33可輸出335 nm(110 kHz),33瓦的激光光束。高功率可以直接有效的提高生產(chǎn)效率,從而降低了成本。

      AVIA系列激光器在微電子制造應用中有最長時間的高可靠性,24/7連續(xù)工作的可查記錄,并有很多具體的設(shè)計來加強加工能力,減少客戶的長期成本費用。ThermEQTM,PulseEQTM可以精細的操控輸出脈沖能量,從而OEM可以定義和最優(yōu)化激光加工過程。激光器本身配備全自動化諧波晶體轉(zhuǎn)換器來保持>20,000小時持續(xù)穩(wěn)定的輸出功率,延長使用壽命。此外,激光器獨特的PosilockTM光束位置傳感器和反饋保證了激光器在工作壽命內(nèi)光束位置的高穩(wěn)定性,從而確保了加工的一致性和穩(wěn)定性。

      AVIA 355-33可以廣泛應用于高通量微電子加工制造行業(yè)。典型的應用包括印制電路板和倒裝片的鉆孔,包含低k值電介質(zhì)材料硅晶片的切割和劃線。

 

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