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太陽(yáng)能工藝

非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池及制造工藝

激光制造網(wǎng)通訊員 來(lái)源:廣東星之球2011-01-22 我要評(píng)論(0 )   

內(nèi)容提綱 一、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)、制造技術(shù)簡(jiǎn)介 二、非晶硅太陽(yáng)能電池制造工藝 三、非晶硅電池封裝工藝 一、 非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)、制造技術(shù)簡(jiǎn)介 1、電池結(jié)...

內(nèi)容提綱

一、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)、制造技術(shù)簡(jiǎn)介

二、非晶硅太陽(yáng)能電池制造工藝

三、非晶硅電池封裝工藝

 

一、                 非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)、制造技術(shù)簡(jiǎn)介

1、電池結(jié)構(gòu)

分為:?jiǎn)谓Y(jié)、雙結(jié)、三結(jié)

2、制造技術(shù)

三種類(lèi)型:

①單室,多片玻璃襯底制造技術(shù)

該技術(shù)主要以美國(guó)Chronar、APS、EPV公司為代表

②多室,雙片(或多片)玻璃襯底制造技

該技術(shù)主要以日本KANEKA公司為代表

③卷繞柔性襯底制造技術(shù)(襯底:不銹鋼、聚酰亞胺)

該技術(shù)主要以美國(guó)Uni-Solar公司為代表

所謂“單室,多片玻璃襯底制造技術(shù)”就是指在一個(gè)真空室內(nèi),完成P、I、N三層非晶硅的沉積方法。作為工業(yè)生產(chǎn)的設(shè)備,重 點(diǎn)考慮生產(chǎn)效率問(wèn)題,因此,工業(yè)生產(chǎn)用的“單室,多片玻璃襯底制造技術(shù)”的非晶硅沉積,其配置可以由X個(gè)真空室組成(X為≥1的正整數(shù)),每個(gè)真空室可以 放Y個(gè)沉積夾具(Y為≥1的正整數(shù)),例如:

•1986年哈爾濱哈克公司、1988年深圳宇康公司從美國(guó)Chronar公司引進(jìn)的內(nèi)聯(lián)式非 晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線中非晶硅沉積用6個(gè)真空室,每個(gè)真空室裝1個(gè)分立夾具,每1個(gè)分立夾具裝4片基片,即生產(chǎn)線一批次沉積6×1×4=24片基片,每片 基片面積305mm×915mm。

•1990年美國(guó)APS公司生產(chǎn)線非晶硅沉積用1個(gè)真空室,該沉積室可裝1個(gè)集成夾具,該集成夾具可裝48片基片,即生產(chǎn)線一批次沉積1×48=48片基片,每片基片面積760mm×1520mm。

 

•本世紀(jì)初我國(guó)天津津能公司、泰國(guó)曼谷太陽(yáng)公司(BangKok Solar Corp)、泰國(guó)光伏公司(Thai Photovoltaic Ltd)、分別引進(jìn)美國(guó)EPV技術(shù)生產(chǎn)線,非晶硅沉積也是1個(gè)真空室,真空室可裝1個(gè)集成夾具,集成夾具可裝48片基片,即生產(chǎn)線一批次沉積 1×48=48片基片,每片基片面積635mm×1250mm。

•國(guó)內(nèi)有許多國(guó)產(chǎn)化設(shè)備的生產(chǎn)廠家,每條生產(chǎn)線非晶硅沉積有只用1個(gè)真空室,真空室可裝2個(gè)沉 積夾具,或3個(gè)沉積夾具,或4個(gè)沉積夾具;也有每條生產(chǎn)線非晶硅沉積有2個(gè)真空室或3個(gè)真空室,而每個(gè)真空室可裝2個(gè)沉積夾具,或3個(gè)沉積夾具??傊壳?國(guó)內(nèi)主要非晶硅電池生產(chǎn)線不管是進(jìn)口還是國(guó)產(chǎn)均主要是用單室,多片玻璃襯底制造技術(shù),下面就該技術(shù)的生產(chǎn)制造工藝作簡(jiǎn)單介紹。

二、                 非晶硅太陽(yáng)能電池制造工藝

1、         內(nèi)部結(jié)構(gòu)及生產(chǎn)制造工藝流程

下圖是以美國(guó)Chronar公司技術(shù)為代表的內(nèi)聯(lián)式單結(jié)非晶硅電池內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖:

 

圖1、內(nèi)聯(lián)式單結(jié)非晶硅電池內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖

 


 

 

生產(chǎn)制造工藝流程:


 

SnO2導(dǎo)電玻璃-SnO2膜切割-清洗-預(yù)熱-a-Si沉積(PIN)-冷卻-a-Si切割-掩膜鍍鋁-測(cè)試1-老化-測(cè)試2-UV保護(hù)層-封裝-成品測(cè)試-分類(lèi)包裝

 

下圖是以美國(guó)EPV公司技術(shù)為代表的內(nèi)聯(lián)式雙結(jié)非晶硅電池內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖:

圖2、內(nèi)聯(lián)式雙結(jié)非晶硅電池內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖

 


 

它的生產(chǎn)制造工藝流程為:

SnO2導(dǎo)電玻璃-SnO2膜切割-清洗-預(yù)熱-a-Si沉積(PIN/PIN)-冷卻-a-Si切割-濺射鍍鋁-Al切割-測(cè)試1-老化-測(cè)試2-封裝-成品測(cè)試-分類(lèi)包裝

2、         內(nèi)聯(lián)式非晶硅電池生產(chǎn)工藝過(guò)程介紹:

⑴SnO2透明導(dǎo)電玻璃(或AZO透明導(dǎo)電玻璃)

規(guī)格尺寸:305 mm×915 mm×3 mm、635 mm×1245 mm×3 等

•要求:方塊電阻:6~8Ω/□、8~10Ω/□、10~12Ω/□、12~14Ω/□、14~16Ω/□等透過(guò)率:≥80%膜牢固、平整,玻璃4個(gè)角、8個(gè)棱磨光(目的是減少玻璃應(yīng)力以及防止操作人員受傷)

 

⑵紅激光刻劃SnO2膜

根據(jù)生產(chǎn)線預(yù)定的線距,用紅激光(波長(zhǎng)1064nm)將SnO2導(dǎo)電膜刻劃成相互獨(dú)立的部分,目的是將整板分為若干塊,作為若干個(gè)單體電池的電極。

•激光刻劃時(shí)SnO2導(dǎo)電膜朝上(也可朝下)

•線距:?jiǎn)谓Y(jié)電池一般是10mm或5mm,雙結(jié)電池一般20mm

•刻線要求:

絕緣電阻≥2MΩ

線寬(光斑直經(jīng))<100um

線速>500mm/S

⑶清洗

將刻劃好的SnO2導(dǎo)電玻璃進(jìn)行自動(dòng)清洗,確保SnO2導(dǎo)電膜的潔凈。

⑷裝基片

將清洗潔凈的SnO2透明導(dǎo)電玻璃裝入“沉積夾具”

基片數(shù)量:對(duì)于美國(guó)Chronar公司技術(shù),每個(gè)沉積夾具裝4片305 mm×915 mm×3 mm的基片,每批次(爐)產(chǎn)出6×4=24片

對(duì)于美國(guó)EPV技術(shù),每個(gè)沉積夾具裝48片635 mm×1245 mm×3 mm的基片,即每批次(爐)產(chǎn)出1×48=48片

⑸基片預(yù)熱

將SnO2導(dǎo)電玻璃裝入夾具后推入烘爐進(jìn)行預(yù)熱。

⑹a-Si沉積

基本預(yù)熱后將其轉(zhuǎn)移入PECVD沉積爐,進(jìn)行PIN(或PIN/PIN)沉積。

•根據(jù)生產(chǎn)工藝要求控制:沉積爐真空度,沉積溫度,各種工作氣體流量,沉積壓力,沉積時(shí)間,射頻電源放電功率等工藝參數(shù),確保非晶硅薄膜沉積質(zhì)量。

沉積P、I、N層的工作氣體P層:硅烷(SiH4)、硼烷(B2H6)、甲烷(CH4)、高純氬(Ar)、高純氫(H2)I層:硅烷(SiH4)、高純氫(H2)N層:硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、高純氬(Ar)、高純氫(H2)

•各種工作氣體配比有兩種方法:第一種:P型混合氣體,N型混合氣體由國(guó)內(nèi)專業(yè)特種氣體廠家配制提供。第二種:PECVD系統(tǒng)在線根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)各種氣體流量配制。

⑺冷卻

a-              Si完成沉積后,將基片裝載夾具取出,放入冷卻室慢速降溫。

⑻綠激光刻劃a-Si膜

根據(jù)生產(chǎn)預(yù)定的線寬以及與SnO2切割線的線間距,用綠激光(波長(zhǎng)532nm)將a-Si膜刻劃穿,目的是讓背電極(金屬鋁)通過(guò)與前電極(SnO2導(dǎo)電膜)相聯(lián)接,實(shí)現(xiàn)整板由若干個(gè)單體電池內(nèi)部串聯(lián)而成。#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

激光刻劃時(shí)a-Si膜朝下刻劃要求:

線寬(光斑直經(jīng))<100um與SnO2刻劃線的線距<100um

直線度線速>500mm/S

⑼鍍鋁

鍍鋁的目的是形成電池的背電極,它既是各單體電池的負(fù)極,又是各子電池串聯(lián)的導(dǎo)電通道,它還能反射透過(guò)a-Si膜層的部分光線,以增加太陽(yáng)能電池對(duì)光的吸收。

•鍍鋁有2種方法:一是蒸發(fā)鍍鋁:工藝簡(jiǎn)單,設(shè)備投入小,運(yùn)行成本低,但膜層均勻性差,牢固度不好,掩膜效果難保證,操作多耗人工,僅適用小面積鍍鋁。二是磁控濺射鍍鋁:膜層均勻性好,牢固,質(zhì)量保證,適應(yīng)小面積鍍鋁,更適應(yīng)大面積鍍鋁,但設(shè)備投資大,運(yùn)行成本稍高。

•每節(jié)電池鋁膜分隔有2種方法:一是掩膜法:僅適用于小面積蒸發(fā)鍍鋁二是綠激光刻劃法:既適用于磁控濺射鍍鋁,也適用于蒸發(fā)鍍鋁。

⑽綠激光刻鋁

(掩膜蒸發(fā)鍍鋁,沒(méi)有該工序)對(duì)于蒸發(fā)鍍鋁,以及磁控鍍鋁要根據(jù)預(yù)定的線寬以及與a-Si切割線的線間距,用綠激光(波長(zhǎng)532nm)將鋁膜刻劃成相互獨(dú)立的部分,目的是將整個(gè)鋁膜分成若干個(gè)單體電池的背電極,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)整板若干個(gè)電池的內(nèi)部串聯(lián)。

•激光刻劃時(shí)鋁膜朝下

•刻劃要求:線寬(光斑直經(jīng))<100um 與a-Si刻劃線的線距<100um

直線度線速>500mm/S

⑾IV測(cè)試:

通過(guò)上述各道工序,非晶硅電池芯板已形成,需進(jìn)行IV測(cè)試,以獲得電池板的各個(gè)性能參數(shù),通過(guò)對(duì)各參數(shù)的分析,來(lái)判斷莫道工序是否出現(xiàn)問(wèn)題,便于提高電池的質(zhì)量。

⑿熱老化:

將經(jīng)IV測(cè)試合格的電池芯板置于熱老化爐內(nèi),進(jìn)行110℃/12h熱老化,熱老化的目的是使鋁膜與非晶硅層結(jié)合得更加緊密,減小串聯(lián)電阻,消除由于工作溫度高所引起的電性能熱衰減現(xiàn)象。

三、                 非晶硅電池封裝工藝

薄膜非晶硅電池的封裝方法多種多樣,如何選擇,是要根據(jù)其使用的區(qū)域,場(chǎng)合和具體要求而確定。不同的封裝方法,其封裝材料、制造工藝是不同的,相應(yīng)的制造成本和售價(jià)也不同。下面介紹目前幾種封裝方法:

1、            電池/UV光固膠

適用:電池芯板儲(chǔ)存制造工藝流程:電池芯板→覆涂UV膠→紫外光固→分類(lèi)儲(chǔ)存

2、            電池/PVC膜

適用:小型太陽(yáng)能應(yīng)用產(chǎn)品,且應(yīng)用產(chǎn)品上有對(duì)太陽(yáng)能電池板進(jìn)行密封保護(hù),如風(fēng)帽、收音機(jī)、草坪燈、庭院燈、工藝品、水泵、充電器、小型電源等

制造工藝流程:

電池芯板→貼PVC膜→切割→邊緣處理→焊線→焊點(diǎn)保護(hù)→檢測(cè)→包裝

(注:邊緣處理目的是防止短路,邊緣處理的方法有化學(xué)腐蝕法、激光刻劃法等)

3、            組件封裝

⑴電池/PVC膜

適用:一般太陽(yáng)能應(yīng)用產(chǎn)品,如應(yīng)急燈,要求不高的小型戶用電源(幾十瓦以下)等

制造工藝流程:

電池芯板(或芯板切割→邊緣處理)→貼PVC膜→焊線→焊點(diǎn)保護(hù)→檢測(cè)→裝邊框(電池四周加套防震橡膠)→裝插座→檢測(cè)→包裝

該方法制造的組件特點(diǎn):制造工藝簡(jiǎn)單、成本低,但防水性、防腐性、可靠性差。

⑵電池/EVA/PET(或TPT)

適用:一般太陽(yáng)能應(yīng)用產(chǎn)品,如應(yīng)急燈,戶用發(fā)電系統(tǒng)等制造工藝流程:電池芯板(或芯板切割→邊緣處理)→焊涂錫帶→檢測(cè) →EVA/PET層壓→檢測(cè)→裝邊框(邊框四周注電子硅膠)→裝接線盒(或裝插頭)→連接線夾→檢測(cè)→包裝該方法制造的組件特點(diǎn):防水性、防腐性、可靠性 好,成本高。

⑶電池/EVA/普通玻璃

適用:發(fā)電系統(tǒng)等

制造工藝流程:

電池芯板→電池四周?chē)娚盎蚣す馓幚恚?0mm)→超聲焊接→檢測(cè)→層壓(電池/EVA/經(jīng)鉆孔的普通玻璃)→裝邊框(或不裝框)→裝接線盒→連接線夾→檢測(cè)→包裝

該方法制造的組件特點(diǎn):防水性、防腐性、可靠性好,成本高。

⑷鋼化玻璃/EVA/電池/EVA/普通玻璃

適用:光伏發(fā)電站等

制造工藝流程:

電池芯板→電池四周?chē)娚盎蚣す馓幚恚?0mm)→超聲焊接→檢測(cè)→層壓(鋼化玻璃/EVA/電池/EVA/經(jīng)鉆孔的普通玻璃)→裝邊框(或不裝框)→裝接線盒→連接線夾→檢測(cè)→包裝

該方法制造的組件特點(diǎn):穩(wěn)定性和可靠性好,具有抗冰雹、抗臺(tái)風(fēng)、抗水汽滲入、耐腐蝕、不漏電等優(yōu)點(diǎn),但造價(jià)高

 

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