在中國科學(xué)院和廣東省共同支持下，由中科院半導(dǎo)體研究所負(fù)責(zé)研制開發(fā)的48片MOCVD首臺(tái)樣機(jī)取得重大進(jìn)展。樣機(jī)不僅經(jīng)過了真空、壓力、溫度、旋轉(zhuǎn)、自動(dòng)傳輸?shù)纫幌盗性O(shè)備性能指標(biāo)實(shí)驗(yàn)考核，同時(shí)進(jìn)行了氮化鎵以及氮化物L(fēng)ED的外延工藝考核，所外延的氮化物材料，分別由山東華光、杭州士蘭明芯，武漢迪源、上海藍(lán)寶、揚(yáng)州中科等國內(nèi)主流芯片公司進(jìn)行了性能測試和氮化物L(fēng)ED芯片制作。經(jīng)多家第三方檢測的結(jié)果表明，用此48片MOCVD樣機(jī)外延的氮化鎵材料，其各項(xiàng)性能指標(biāo)達(dá)到同類國際MOCVD設(shè)備產(chǎn)品的水平。

      2012年3月10日，在廣東省與中國科學(xué)院在北京舉行的全面戰(zhàn)略合作座談會(huì)上，首臺(tái)48片MOCVD樣機(jī)研制成果向廣東省委書記汪洋做了專項(xiàng)匯報(bào)，省長朱小丹，中科院院長白春禮等領(lǐng)導(dǎo)做了專門匯報(bào)，我所李晉閩研究員參加了匯報(bào)會(huì)。會(huì)上白春禮院長提到，近年來，中科院與廣東省積極推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作，“MOCVD國產(chǎn)化”等重大科技項(xiàng)目合作取得重大突破，在基礎(chǔ)研究和原始創(chuàng)新等方面實(shí)現(xiàn)了重大進(jìn)展，打下了扎實(shí)的合作基礎(chǔ)。中科院將加快推進(jìn)院省全面戰(zhàn)略合作，進(jìn)一步支持廣東區(qū)域創(chuàng)新體系建設(shè)，助推廣東產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。會(huì)議期間，還舉行了MOCVD裝備成果與用戶進(jìn)行的應(yīng)用合作簽約，汪洋書記、白春禮院長等領(lǐng)導(dǎo)共同出席了簽約儀式，我所曾一平研究員等參加了簽約儀式。(中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所)
 

48片MOCVD樣機(jī)