準分子激光器具有獨特的材料加工特性，這一特性使得其應用范圍日益擴大。

　　與其他氣體激光器不同，準分子激光器在應用方面的數目和種類不斷的增多。這是因為，準分子激光器所獨有的特性和性能，這使得準分子激光器能滿足很多的材料加工的需要。其獨有的特性也使得它很好的被用于新興的技術中。目前，主要有兩個方面應用：1)材料的切除2)光學材料的加工，尤其是打孔，劃線，微加工，和其他方面的加工，在這些加工中，其特征尺寸縮小且超出了機械加工的范圍。準分子材料切除的本質是光燒蝕，它幾乎沒有熱影響區(qū)域，而且使用準分子時，切口干凈而且輪廓分明。這些特點使得它十分適合進行亞微米范圍的微加工。此外，短波長的紫外(UV)準分子輻射很容易被許多材料所吸收，使得它不論對硬質材料(如,硅和陶瓷)還是對軟質聚合物都能進行有效加工。紫外準分子激光波長的范圍較廣，這意味著，基本上對于任何需要加工的材料都能夠找到合適的波長。大型的多模平頂準分子光束讓大面積圖案制作所需的光束整形和掩膜技術成為可能，使得加工效率更高，且能得到復雜的三維圖案。

　　目前，準分子激光器有三個主要的用途：LASIK眼科手術，平板顯示器退火，和半導體微光刻。不過，準分子市場的其他部分也是很重要的，包括了許多不同的加工和行業(yè)，從對眼鏡打標到加工柴油機汽缸套，到電子工業(yè)中的打孔都使用了該技術。然而，這“三大”主要的應用有專門的模型，這些模型被優(yōu)化以滿足行業(yè)中已很好確立的性能參數，在大量不同的應用中對激光條件有著廣泛且多樣的要求。這是因為對于一個給定的材料和波長，要進行有效的材料加工就需要在主要的準分子激光性能，脈沖能量(對加工對象的影響)，和重復頻率之間得到正確的平衡。

　　選擇能量還是重復頻率？

　　起初，大部分工業(yè)準分子激光器的主要特點是：合適的重復頻率處(幾百Hz)，激光脈沖能量很高(幾百個mJ)；或者是高重復頻率(100Hz-2Hz)而能量為幾個mJ。但是，平板顯示器制造中低溫多晶硅(LTPS)退火技術的成熟推進了高重復頻率(達300Hz)、高脈沖能量(>1J)激光器的發(fā)展，這些技術目前也被用在微加工應用中。例如，可以直接對薄膜進行圖案處理，這主要用于電子工業(yè)。