激光技術(shù)應(yīng)用新方向——激光精密加工

從1960年第一臺(tái)紅寶石激光器誕生至今，激光技術(shù)幾乎覆蓋了生產(chǎn)生活的各個(gè)角落，從汽車制造、動(dòng)力電池到手機(jī)制造、航空航天、醫(yī)療器械乃至國(guó)防軍事等，幾乎我們能想到的所有領(lǐng)域，都活躍著激光器的身影。對(duì)很多行業(yè)而言，激光技術(shù)更是一種不可或缺的支撐技術(shù)。眾所周知，“中國(guó)制造 2025”的核心是智能制造，智能制造的核心之一是光電技術(shù)，而光電技術(shù)的核心之一正是激光器。因此，激光行業(yè)是驅(qū)動(dòng)制造業(yè)發(fā)展的一大核心力量，其重要性不言而喻。其中，尤以激光精密加工為代表的技術(shù)在電子、半導(dǎo)體、通訊、光存儲(chǔ)、微機(jī)械制造、生物、環(huán)境等行業(yè)進(jìn)一步推廣和使用將為傳統(tǒng)加工方式創(chuàng)造前所未有的可能性。


激光超精密加工領(lǐng)域頂尖力量——甘棕松教授團(tuán)隊(duì)

華中科技大學(xué)甘棕松教授致力研究超衍射極限光學(xué)精密技術(shù)，重點(diǎn)研究激光微納制造新技術(shù)的開(kāi)發(fā)和及其在新一代信息技術(shù)中的應(yīng)用。涉及領(lǐng)域包括三維納米光刻技術(shù)的開(kāi)發(fā)、三維半導(dǎo)體微納器件的激光制造及其應(yīng)用、光學(xué)大數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)、激光3D微納打印、高密度微納電子器件的激光制冷技術(shù)、大型科學(xué)與工程裝置中的大數(shù)據(jù)軟件技術(shù)等。其研究成果在三維芯片制造、光子芯片、大數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、3D納米打印、仿生學(xué)等領(lǐng)域具有較強(qiáng)的國(guó)際影響力，并受到國(guó)際學(xué)術(shù)界、產(chǎn)業(yè)界和大眾媒體的多方關(guān)注。

近五年來(lái)，甘棕松教授以第一作者在Nature Communication、Science Advances、Applied Physics Letters、Optics Express等國(guó)際權(quán)威期刊共發(fā)表學(xué)術(shù)論文10余篇，其中ESI高被引用論文1篇。合著書(shū)籍章節(jié)2章，專著1部。研究成果被Nature Nanotechnology、Nature Materials等世界頂級(jí)期刊專題評(píng)論，評(píng)論為“該方法使得（激光制造）的特征尺寸和分辨率突破了光的衍射極限”。

此外，其在超衍射極限激光三維制造技術(shù)領(lǐng)域所取得的成果展示了單光盤(pán)1 PB（1000TB = 1,000,000 GB）存儲(chǔ)能力的技術(shù)飛躍，其相關(guān)研究成果被全球超過(guò)1000家新聞媒體報(bào)道和轉(zhuǎn)載。2014-2016年主持澳大利亞科學(xué)及工業(yè)教育基金（SIEF）項(xiàng)目1項(xiàng)（共41.1萬(wàn)澳元），現(xiàn)主持和參與國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目各1項(xiàng)。獲得2014年澳大利亞維多利亞州Victoria fellowship稱號(hào)，2017年湖北省楚天學(xué)子稱號(hào)。

（第20屆中國(guó)國(guó)際光電博覽會(huì)（GOIE）及2018全球光電子大會(huì)（OGC）上甘棕松教授發(fā)布納米光刻技術(shù)）


落地深圳——助力光電領(lǐng)域企業(yè)騰飛

甘棕松教授團(tuán)隊(duì)于今年3月在深圳華中科技大學(xué)研究院成立激光超精密制造技術(shù)實(shí)驗(yàn)室，旨在依托研究院平臺(tái)落地深圳為光學(xué)制造研究新原理和開(kāi)發(fā)新技術(shù)，重點(diǎn)面向光學(xué)制造技術(shù)中的共性關(guān)鍵問(wèn)題，探索面向產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的解決方法。在其科研團(tuán)隊(duì)已經(jīng)取得的雙光束超衍射極限精密技術(shù)系列成果的基礎(chǔ)上，將雙光束超衍射極限精密技術(shù)應(yīng)用于芯片制造技術(shù)，研發(fā)雙光束超衍射極限納米光刻技術(shù)原理樣機(jī)，利用該技術(shù)實(shí)現(xiàn)三維芯片制造并為其提供光學(xué)制冷技術(shù)途徑。

實(shí)驗(yàn)室將引入甘棕松教授團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的國(guó)際首臺(tái)商用化的雙光束超衍射極限激光直寫(xiě)光刻系統(tǒng)和國(guó)內(nèi)首臺(tái)商用化的基于熒光閃爍的超分辨顯微鏡，這兩套設(shè)備填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在光學(xué)超精密制造和超精密檢測(cè)領(lǐng)域的空白。

科研團(tuán)隊(duì)將通過(guò)與觸控屏，光通信等相關(guān)企業(yè)合作，實(shí)現(xiàn)激光超精密制造技術(shù)在觸控屏、引線鍵合、光芯片、3D微納米打印等領(lǐng)域的產(chǎn)學(xué)研轉(zhuǎn)化。


（Super Lithography 3D 納米光刻系統(tǒng)）

（Super Lithography 3D 納米光刻系統(tǒng)感光材料）