藍寶石晶圓產品廣泛應用于各行業(yè),諸如各種電子設備,發(fā)達國家們正深度拓展和挖掘與藍寶石晶圓相關的市場。當然,國內市場也開始涌動起來,因此,許多廠家開始看好市場,紛紛將觸角伸向藍寶石晶圓加工領域。而生產加工藍寶石晶圓產品的CO2激光打標機器就成為了準入門檻,換句話說,如果您想快速占領國內藍寶石晶圓市場,就必須擁有性能卓越的CO2激光打標機器,大族激光CO2-SP-A自動化藍寶石晶圓打標系統(tǒng)應運而生。
藍寶石晶圓行業(yè)的客戶需要在晶圓片上進行文字標記以進行區(qū)分標識和管理,為滿足客戶對于多種規(guī)格產品的生產要求(產品規(guī)格:2寸,4寸,5寸,6寸,8寸,配置度≤8.0μ GTIR,翹曲度≤60.0μ,彎曲度≤60.0μ。),以及工藝上的多種要求(標記客戶需求字體的數(shù)字及字母字符,要求標記清晰美觀;標記內容為流水號時,要求軟件具備自動跳號功能;打標位置精度:±0.1mm,打標字符與參考面平邊平行,角度<3°;從晶圓盒中自動取、放工件,不能損傷晶圓。)。大族激光CO2產線專門研發(fā)了配套的自動化設備,CO2-SP-A自動化藍寶石晶圓打標系統(tǒng),該系統(tǒng)具有自動取、放片,自動定位打標和CCD自動識別功能。工作臺的激光打標部分在全密封的環(huán)境中進行,并配備抽風除塵裝置,保證客戶對工件的潔凈度要求。此外,還制作了專門的字庫來滿足客戶對不同字體的需求。
1. 可選擇正面或反面打標,手臂可進行翻面選擇功能,單拋片只能接觸背面,可進行單拋片、雙拋片的鐳刻;2. 擁有晶圓鏡面及磨砂面檢測功能;3. 擁有晶圓上是否標記過的檢測功能;
4. 擁有根據外部二維碼信息調整打標內容及打標參數(shù)功能;5. 擁有手動生成生產批次記錄功能;6. 擁有操作權限功能。
激光功率:30W
加工效率:300片/小時
重復定位精度:±0.05mm
設備尺寸(長×寬×高):1700mm×1900mm×2100mm(設備主體)?定位方式:CCD定位?字符與參考面角度誤差:<3°
電力需求:單相AC220V/50Hz
用氣需求:5 kg/cm2
四.應用樣品