溶蝕早已不再是新的加工工藝。溶蝕工藝在加工燃料入口噴嘴時(shí)具有很大的優(yōu)勢。在μ級領(lǐng)域內(nèi)繼續(xù)發(fā)展了鉆蝕技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對50μm孔徑和0.8mm深度的鉆孔加工。

在采用溶蝕加工時(shí)，電極和導(dǎo)電材料之間會(huì)發(fā)生放電現(xiàn)象。電極和工件浸入到不導(dǎo)電的脫離子水液體里，每個(gè)火花都對工件材料和電極進(jìn)行溶解和蒸發(fā)，溶蝕下來的材料由電介體沖走。這種微鉆蝕工藝屬于埋入式溶蝕。

針對溶蝕工藝，采用旋轉(zhuǎn)式電極條，以便制成旋轉(zhuǎn)對稱的孔和開口。鉆孔過程分為兩個(gè)步驟：校準(zhǔn)和鉆孔本身。在校準(zhǔn)過程中，電極帶正電荷，工件帶負(fù)電荷，電極的頂端變成扁平狀。接著，極化被改變，溶蝕過程即告開始。這兩部分過程的旋轉(zhuǎn)速度分別為500r/min和1000r/min。

為了控制推進(jìn)量和電極的旋轉(zhuǎn)，設(shè)備采用了一種雙夾具裝置，這對于保證精度和生產(chǎn)結(jié)果的可重復(fù)性具有關(guān)鍵作用。該裝置由一個(gè)活動(dòng)的張緊元件、一個(gè)電極傾斜裝置和一個(gè)導(dǎo)向元件以及校準(zhǔn)環(huán)構(gòu)成，活動(dòng)的張緊元件可以在Z軸上移動(dòng)，它負(fù)責(zé)電極的前移。傾斜裝置控制電極的跑出，它決定著鉆孔直徑的大小。

微型鉆孔的一個(gè)優(yōu)勢是可以整潔地進(jìn)行圓柱形或錐形鉆孔。每毫米孔深的錐度變化為±30μm。為了生成正錐體孔，電極必須在孔的入口處對準(zhǔn)；如果是負(fù)錐體，則應(yīng)該在孔的出口處對準(zhǔn)。對此可使用一臺(tái)攝像機(jī)，與檢測直徑、幾何外形和鉆孔定位的情況一樣。

另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是適合于微溶蝕的材料范圍很廣，除了鑄造材料、鋼材和淬火鋼之外，也可對碳化物、鈦、鉑金和導(dǎo)體搪瓷進(jìn)行加工。據(jù)廠家稱，此工藝對任何導(dǎo)體材料都有效，而且精度不會(huì)發(fā)生偏差。

對鉆孔直徑產(chǎn)生影響的是電極的規(guī)格和火花裂口（目前可行的是大約5μm）。本工藝的適用直徑范圍為50μm~1.8mm，孔的深度范圍為0.1~2mm。根據(jù)不同的孔徑和孔深，溶蝕時(shí)間為15~40s。

Microfor技術(shù)可以減少熱負(fù)荷面積，這可以減緩材料變形程度和溶蝕時(shí)典型的白色層的形成。當(dāng)孔徑為50~150μm時(shí)，在實(shí)驗(yàn)中可實(shí)現(xiàn)的白色層厚度為1~1.5μm。如果孔徑為150~300μm，則需要注入更大的能量，這時(shí)白色層的厚度最大為3.5μm。通過減少投入的能量，可以減少上述數(shù)值，但是，設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間會(huì)明顯延長。此類試驗(yàn)還表明，電極材料對白色層的構(gòu)成沒有影響，白色層只取決于投入的能量。