激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調(diào)、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調(diào)、光掩膜的修正、具有分布參數(shù)的超高頻電路的微調(diào)、光學(xué)度盤(pán)和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域?qū)⒌玫皆絹?lái)越廣泛的應(yīng)用。
激光調(diào)阻機(jī)是利用激光工藝對(duì)薄膜或厚膜電阻進(jìn)行雕刻實(shí)現(xiàn)精密調(diào)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備，在移動(dòng)終端、數(shù)碼相機(jī)、便攜機(jī)等移動(dòng)設(shè)備生產(chǎn)場(chǎng)所，采用精密激光調(diào)阻機(jī)作為加工工藝設(shè)備，有很大的發(fā)展?jié)摿Α?/div>
調(diào)阻技術(shù)要求含量很高，需要熟練掌握激光聚焦與圖像監(jiān)控技術(shù)。同軸數(shù)控與圖像視覺(jué)自動(dòng)識(shí)別定位技術(shù)，ATE(自動(dòng)化測(cè)試工裝)等技術(shù)。
激光電阻微調(diào)是通過(guò)短脈沖激光掃描切割，改變電阻的導(dǎo)電截面積，達(dá)到把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)。利用激光束按一定軌跡照射在電阻膜片上，基片電阻漿料層受激光照射加熱汽化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導(dǎo)體截面面積和導(dǎo)電體長(zhǎng)度，從而達(dá)到微調(diào)電阻的目的。同時(shí)，對(duì)電阻進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量，將測(cè)量結(jié)果與設(shè)定阻值進(jìn)行比較，并反饋控制激光的掃射運(yùn)動(dòng)，達(dá)到預(yù)定的要求。
現(xiàn)有的操作方式是采用精密電阻人為測(cè)量調(diào)整，這種方式需要耗費(fèi)較多人工，或者使用電位器進(jìn)行阻值的調(diào)整，但這種存在超調(diào),電位器會(huì)回彈，產(chǎn)生電路振蕩,在移動(dòng)或運(yùn)輸過(guò)程中也易松動(dòng),產(chǎn)生參數(shù)漂移。而很多電路中對(duì)電阻的阻值要求十分精確，相對(duì)誤差要求達(dá)到千分之幾甚至萬(wàn)分之幾，而由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準(zhǔn)確性，基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復(fù)性，厚膜電阻常出現(xiàn)正負(fù)誤差，現(xiàn)在制造工藝相對(duì)誤差只能達(dá)到5%，甚至更低，所以必須進(jìn)行電阻微調(diào)，使之達(dá)到高精度要求。
先進(jìn)的激光調(diào)阻系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過(guò)硬件直接與激光器、光束定位、分步重復(fù)及測(cè)量等系統(tǒng)相連接。測(cè)量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無(wú)源網(wǎng)絡(luò)組成。
目前，在國(guó)內(nèi)，精密激光調(diào)阻機(jī)除了三工精密能自主研發(fā)外，能生產(chǎn)銷(xiāo)售該設(shè)備的廠商寥寥無(wú)幾。通過(guò)短脈沖激光掃描切割電阻基片，使電阻漿料層受激光加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長(zhǎng)度，達(dá)到把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)。
激光調(diào)阻機(jī)，精度易控制，速度較快，且易于自動(dòng)化及批量生產(chǎn)，且能完成電路的功能調(diào)阻，目前是調(diào)阻的主流工藝。
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