大家都知道,此前有消息傳出,作為我國(guó)目前最大最先進(jìn)的晶圓代工廠,中芯國(guó)際終于收到了來(lái)自ASML的光刻機(jī),而且順利的進(jìn)入了深圳廠區(qū),有了ASML的光刻機(jī)之后,中芯國(guó)際不僅可以實(shí)現(xiàn)14納米芯片的擴(kuò)大生產(chǎn),還將開(kāi)始7納米的生產(chǎn)。

在人們還沒(méi)來(lái)得及開(kāi)心,現(xiàn)在又出現(xiàn)了大反轉(zhuǎn),那就是中芯國(guó)際獲得光刻機(jī)并不是生產(chǎn)7納米工藝芯片所需的EUV芯片,實(shí)際上這臺(tái)機(jī)器應(yīng)該還是193nm波長(zhǎng)的DUV系列光刻機(jī),根據(jù)中芯國(guó)際發(fā)布的消息來(lái)看,這臺(tái)機(jī)器是為了用于現(xiàn)有的生產(chǎn)線(xiàn)來(lái)進(jìn)行擴(kuò)容。

因?yàn)槟壳爸行緡?guó)際深圳產(chǎn)區(qū)所提供的產(chǎn)品還是0.35μm到90nm,有了EUV光刻機(jī)的支持后,就可以開(kāi)始更先進(jìn)工藝的生產(chǎn)了,而且中芯國(guó)際采購(gòu)EUV光刻機(jī)的主要目的也是對(duì)先進(jìn)工藝進(jìn)行試驗(yàn)和測(cè)試的。

對(duì)于中芯國(guó)際成功獲得ASML光刻機(jī)的消息,外界確實(shí)傳瘋了,但是為了得到更準(zhǔn)確的消息,中芯國(guó)際也對(duì)媒體做出了證實(shí),這臺(tái)光刻機(jī)只是常規(guī)設(shè)備,不屬于EUV光刻機(jī),而且EUV對(duì)于中芯國(guó)際,對(duì)于芯片行業(yè)影響力都是比較大的,如果真正的獲得了,中芯國(guó)際是會(huì)主動(dòng)通過(guò)官方發(fā)布消息的。

同時(shí),中芯國(guó)際也表示,沒(méi)有EUV的支持,也不會(huì)影響芯片的生產(chǎn),由于美國(guó)的阻擾,本應(yīng)該在2019年交付的機(jī)器到現(xiàn)在還沒(méi)有交付,與其坐等ASML出手,還沒(méi)有自己謀求新的道路,現(xiàn)在中芯國(guó)際已經(jīng)采購(gòu)了美國(guó)泛林公司6億美元設(shè)備,還有美國(guó)應(yīng)用材料、日本東京電子公司高達(dá)77億元的設(shè)備,這將進(jìn)一步的提升14納米工藝芯片的產(chǎn)能。

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