芯片是智能制造的“大腦”。如何保證其正常運(yùn)轉(zhuǎn)？產(chǎn)前“體檢”必不可少。半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備作為芯片生產(chǎn)過(guò)程中的重要工具，就猶如芯片的“體檢醫(yī)生”，在芯片生產(chǎn)階段，會(huì)對(duì)產(chǎn)品的技術(shù)參數(shù)逐一檢查，只有成功通過(guò)測(cè)試的產(chǎn)品型號(hào)方可量產(chǎn)。

矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司作為我國(guó)最早研發(fā)、規(guī)模最大的探針臺(tái)生產(chǎn)企業(yè)，多年來(lái)始終堅(jiān)持自主創(chuàng)新，致力于推動(dòng)高精密半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，如今已研發(fā)出一系列達(dá)到國(guó)際前沿技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的全自動(dòng)測(cè)試探針臺(tái)，多項(xiàng)核心技術(shù)填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)空白，并已發(fā)展成為能與國(guó)際同業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的企業(yè)。

矽電公司總經(jīng)理王勝利介紹，矽電公司自2003年成立以來(lái)就以晶圓片探針臺(tái)為著力點(diǎn)，在晶圓片半自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)項(xiàng)目研發(fā)上率先突破技術(shù)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，并實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。

走進(jìn)矽電公司研發(fā)部門(mén)，研發(fā)人員正忙于測(cè)試各類芯片技術(shù)指標(biāo)及調(diào)試檢測(cè)設(shè)備。王勝利告訴記者：“我們的核心技術(shù)是探針測(cè)試技術(shù)，簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)是一種測(cè)試方法。晶圓片單一晶粒的尺寸都非常小，其測(cè)量接觸面直徑一般只有50微米，相當(dāng)于頭發(fā)絲斷面的三分之二大小，測(cè)試都必須在顯微鏡下完成。在電路測(cè)試中我們一方面要通過(guò)檢測(cè)設(shè)備給電路輸送信號(hào)，另一方面要把信號(hào)接出來(lái)。這就需要探針精準(zhǔn)對(duì)接每一個(gè)測(cè)量觸點(diǎn)?！?/p>

王勝利告訴記者，探針臺(tái)負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。它可以將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái)，便于在后道工序之前及時(shí)將其剔除，這樣就有效地提高了后道生產(chǎn)的成品率，降低了器件的制造成本。探針臺(tái)屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的高精尖設(shè)備，是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心專用設(shè)備，行業(yè)技術(shù)壁壘較高，在設(shè)備的精度、可靠性、視覺(jué)智能多系統(tǒng)擬合、測(cè)試工藝方面均有非常嚴(yán)苛的要求，是對(duì)生產(chǎn)廠商在工藝、技術(shù)、生產(chǎn)流程等方面的綜合考驗(yàn)。

推進(jìn)探針臺(tái)設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代是矽電公司一直以來(lái)的發(fā)展目標(biāo)。“行業(yè)中競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手雖然不多，但很多人不愿意做，因?yàn)檫@個(gè)東西太費(fèi)勁。”王勝利坦言，“2002年開(kāi)始，我與另外3位合伙人啟動(dòng)了晶圓測(cè)試探針臺(tái)的研發(fā)。原本看似簡(jiǎn)單的東西，在進(jìn)入研發(fā)后才發(fā)現(xiàn)其中涉及的細(xì)節(jié)與技術(shù)太多了。我們很多次都差點(diǎn)堅(jiān)持不下來(lái)?！?/p>

“為了保障技術(shù)的不斷更新，公司的各項(xiàng)資源都會(huì)優(yōu)先保障技術(shù)研發(fā)，我們每年研發(fā)投入占總營(yíng)收的9%左右。”王勝利表示，經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，矽電公司已逐漸掌握了包括高精度快響應(yīng)大行程精密步進(jìn)技術(shù)、定位精度協(xié)同控制、探針卡自動(dòng)對(duì)針技術(shù)、晶圓自動(dòng)上下片技術(shù)、基于智能算法的機(jī)器視覺(jué)、電磁兼容性設(shè)計(jì)技術(shù)等多項(xiàng)探針臺(tái)設(shè)備研發(fā)核心技術(shù)。同時(shí)，矽電公司可根據(jù)溫控、高壓、磁場(chǎng)及輻射等不同的環(huán)境需求，提供芯片檢測(cè)一條龍解決方案。截至2019年底，公司已取得國(guó)內(nèi)外授權(quán)專利111項(xiàng)、軟件著作權(quán)36項(xiàng)。

得益于不斷開(kāi)拓創(chuàng)新，矽電公司已成長(zhǎng)為目前國(guó)內(nèi)少數(shù)具備批量設(shè)計(jì)及生產(chǎn)各種規(guī)格探針臺(tái)、晶粒及晶圓表面檢查設(shè)備、晶粒拾取及挑選系統(tǒng)等晶粒級(jí)處理設(shè)備的企業(yè)。王勝利表示，隨著晶圓從6英寸到8英寸再到目前12英寸的發(fā)展，探針臺(tái)也經(jīng)歷了從手動(dòng)、半自動(dòng)到全自動(dòng)的發(fā)展歷程。目前，在半導(dǎo)體領(lǐng)域，矽電公司相繼推出了對(duì)應(yīng)不同集成電路領(lǐng)域的探針臺(tái)產(chǎn)品；在LED領(lǐng)域，矽電公司自行研發(fā)的倒裝芯片全自動(dòng)探針臺(tái)、正裝芯片全自動(dòng)探針臺(tái)以及全自動(dòng)抽測(cè)探針臺(tái)組成了光電半導(dǎo)體系列探針臺(tái)產(chǎn)品。同時(shí)，矽電公司也應(yīng)市場(chǎng)需求及時(shí)推出了VCSEL芯片探針測(cè)試系統(tǒng)及VCSEL模組測(cè)試系統(tǒng)、垂直紅外光電芯片測(cè)試機(jī)及全自動(dòng)晶圓鏡檢機(jī)等產(chǎn)品，豐富了公司的產(chǎn)品線。