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激光檢測

白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡的區(qū)別

激光制造網(wǎng) 來源:elecfans2023-03-09 我要評論(0 )   

對于現(xiàn)代愈發(fā)復(fù)雜的工藝檢測,諸如半導(dǎo)體、電子封裝及光學(xué)加工等產(chǎn)業(yè)中,由于表面微觀輪廓結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確性決定著產(chǎn)品的功能和效能,所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件...

對于現(xiàn)代愈發(fā)復(fù)雜的工藝檢測,諸如半導(dǎo)體、電子封裝及光學(xué)加工等產(chǎn)業(yè)中,由于表面微觀輪廓結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確性決定著產(chǎn)品的功能和效能,所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件(諸如半導(dǎo)體硅片及器件、薄膜厚度、光學(xué)器件表面、其他材料分析及微表面研究),都需要測量斷差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、體積、線寬等。

 

同為微納米級表面光學(xué)分析儀器,白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測量、高穩(wěn)定性的特點(diǎn),都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,適用范圍廣,可測多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡還是有著不同之處。

 

1、測量原理

白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理,實(shí)現(xiàn)器件亞納米級表面形貌測量的光學(xué)檢測儀器;

 

激光共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術(shù)為原理,實(shí)現(xiàn)器件微納米級表面形貌測量的光學(xué)檢測儀。

2、應(yīng)用

白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品,尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數(shù)值的準(zhǔn)確;(SuperViewW1白光干涉儀測量行程有140*100*100㎜,對于測量物體整個(gè)區(qū)域表面情況,還可以使用自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環(huán)反饋,在樣品表面抽取多個(gè)區(qū)域測量,就可以快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量,從而對樣品進(jìn)行評估分析。)

 

而共聚焦顯微鏡更容易測陡峭邊緣,擅長微納級粗糙輪廓的檢測,雖在檢測分辨率上略遜,但成像圖色彩斑斕,便于觀察。

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