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半導(dǎo)體/PCB

激光蝕刻鉆孔工藝

激光制造商情 來(lái)源:百度文庫(kù)2011-11-22 我要評(píng)論(0 )   

在孔徑大于 0.008 吋 (200 m) 的場(chǎng)合基本上都使用機(jī)械式鉆孔,而較小孔徑則主要應(yīng)用激光鉆孔。激光鉆孔的孔徑最小為 0.001 吋 (25 m) ,一般標(biāo)準(zhǔn)孔徑為 0.004 吋 (100 m...

在孔徑大于0.008(200μm)的場(chǎng)合基本上都使用機(jī)械式鉆孔,而較小孔徑則主要應(yīng)用激光鉆孔。激光鉆孔的孔徑最小為0.001(25μm),一般標(biāo)準(zhǔn)孔徑為0.004(100μm)0.006(150μm)。

直到1999年年底,激光鉆孔還僅在少數(shù)幾個(gè)產(chǎn)品中使用,那時(shí)全世界只有400臺(tái)設(shè)備,其中300臺(tái)在日本,均用于第一代激光鉆孔工藝:未覆銅材料的CO2鉆孔。預(yù)計(jì)到2002年激光鉆孔的數(shù)量將會(huì)有很大的增加,因?yàn)槟菚r(shí)移動(dòng)電話(huà)需求量估計(jì)會(huì)達(dá)到3.5億部。為生產(chǎn)出足夠的印刷線(xiàn)路板,將需要2000臺(tái)激光鉆孔設(shè)備,這個(gè)數(shù)字還沒(méi)包括小型因特網(wǎng)接入設(shè)備、個(gè)人電腦和其他設(shè)備的需求。

激光蝕刻鉆孔工藝包括直接電介體鉆孔、共形掩膜鉆孔和完孔成形三種。直接電介體鉆孔是用CO2激光束照射材料表面,每發(fā)出一次激光脈沖就有一部分材料被蝕刻掉,然后在下一步工序中對(duì)材料整個(gè)表面進(jìn)行電鍍。該工藝的特點(diǎn)是鉆孔速度快,但由于CO2激光的分辨率太低,其孔徑不能低于#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#0.004(100μm);另外未覆銅材料還存在共面和精確度等問(wèn)題。

共形掩膜鉆孔是用CO2激光在覆銅層已經(jīng)經(jīng)過(guò)腐蝕的電介材料上鉆孔。在光刻工藝中,覆銅層通過(guò)化學(xué)方法先作完腐蝕,這時(shí)它就如同一個(gè)掩膜,使CO2激光只作用于電介材料上。目前使用的是無(wú)需裝備外部激光氣的最新式射頻激勵(lì)密封CO2激光,這種激光束具有質(zhì)量好(TEM00)、重復(fù)率高(20kHz以上)及持久耐用等特點(diǎn)。

將這些特點(diǎn)和快速掃描儀(每秒超過(guò)1000點(diǎn))及快速操縱系統(tǒng)如帶線(xiàn)性馬達(dá)(最高2500ipm)的工作臺(tái)等結(jié)合起來(lái),可以使鉆孔速度達(dá)到每分鐘60000(1mm間隔)。由于覆銅層已預(yù)先腐蝕掉,所以孔的直徑與激光波長(zhǎng)無(wú)關(guān),在25μm250μm之間。

完孔成形使用兩種激光,即UV激光與#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#CO2激光,目前最新的技術(shù)是固態(tài)UV激光,它利用二極管吸收方式激勵(lì)激光棒。一個(gè)典型的完孔成形系統(tǒng)可產(chǎn)生兩種激光:吸收二極管產(chǎn)生的355μm UV激光(脈沖重復(fù)率高達(dá)100kHz)以及CO2激光。UV激光用來(lái)除去銅層,CO2激光用來(lái)去除電介質(zhì),該工藝已在很多不同的工業(yè)中分別得到開(kāi)發(fā)應(yīng)用,其中主要是在美國(guó)和歐洲的一些國(guó)家。

UV激光以一種稱(chēng)為環(huán)鉆的方式移動(dòng),激光束開(kāi)始照在孔的中心,然后環(huán)繞中心作同心圓移動(dòng),同心圓直徑依次增大直至將整個(gè)區(qū)域的覆銅層都蝕刻掉。銅層去掉以后再用CO2激光去除電介質(zhì),這時(shí)剩余的覆銅層就作為CO2激光的掩膜。這種工藝的優(yōu)點(diǎn)是孔徑可以小至0.002(50μm)而且很精確,同時(shí)每分鐘鉆孔數(shù)量可達(dá)5000個(gè)以上。該工藝也可用于多層線(xiàn)路板的鉆孔。

傳統(tǒng)弧燈只有400500小時(shí)壽命,而二極管的使用壽命一般都超過(guò)10000小時(shí),所以二極管吸收式激光有助于提高產(chǎn)量和延長(zhǎng)使用壽命。由于激光二極管的壽命可以預(yù)測(cè)得到,因此維修更換就可以事先計(jì)劃好,減少了維修時(shí)間和意外停機(jī)。另外二極管吸收式激光穩(wěn)定性很高,波動(dòng)小,所以孔的一致性很高。

為了適應(yīng)生產(chǎn)的需要,多數(shù)激光鉆孔系統(tǒng)都帶有自動(dòng)化裝置。最新式設(shè)備配有為兩套激光系統(tǒng)供料的自動(dòng)裝卸裝置,該裝置位于機(jī)器中間,裝有送料架和堆疊裝貨的小車(chē),為兩臺(tái)激光鉆孔系統(tǒng)送料和卸料,并可在鉆孔的同時(shí)將線(xiàn)路板翻轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)。每?jī)膳_(tái)激光系統(tǒng)使用一臺(tái)自動(dòng)裝卸裝置可以節(jié)省投資和場(chǎng)地。

線(xiàn)路板裝到真空吸盤(pán)上后,要用對(duì)位標(biāo)記使鉆孔光束與線(xiàn)路板相配,可利用通孔或線(xiàn)路板上的圖形作為標(biāo)記。對(duì)位標(biāo)記既可以用機(jī)械方法形成,也可以用激光對(duì)最上層銅箔蝕刻制成。圖形處理系統(tǒng)讀取到對(duì)位標(biāo)記后,程序就可對(duì)線(xiàn)路板進(jìn)行自動(dòng)對(duì)位、偏位補(bǔ)償、旋轉(zhuǎn)、伸長(zhǎng)以及縮小等處理。由于供應(yīng)商不同,有時(shí)會(huì)使用兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)或更多對(duì)位標(biāo)記。#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

鉆孔工藝的加工時(shí)間取決于所用的硬件(如掃描儀、工作臺(tái))以及使用的方法??商岣呒す庀到y(tǒng)產(chǎn)量的步進(jìn)技術(shù)能使激光源頻率更高、掃描儀每秒掃描區(qū)域更大及工作臺(tái)速度更快;縮短加工時(shí)間的方法則包括將激光束分到多個(gè)工作臺(tái)上、使掃描儀和工作臺(tái)移動(dòng)同步以便在工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)鉆孔以及同時(shí)對(duì)兩個(gè)或多個(gè)區(qū)域進(jìn)行并行處理等等。

應(yīng)用實(shí)例

用戶(hù)A:中小規(guī)模PCB制造商,所需過(guò)孔的孔徑為0.006(0.15mm)或更大,產(chǎn)量相對(duì)較低。該用戶(hù)合適的選擇是機(jī)械鉆孔系統(tǒng)。

用戶(hù)B:過(guò)孔要求為孔徑0.0040.006(0.10.15mm),中等產(chǎn)量。加工這種孔不需要用激光,但采用激光鉆孔可提高產(chǎn)量,是否采用激光鉆孔取決于資金的多少。此例中機(jī)械鉆孔和激光鉆孔都可以滿(mǎn)足加工要求。

用戶(hù)C:過(guò)孔要求為孔徑0.004(0.1mm)或更小。這時(shí)即使產(chǎn)量很低也要采用激光鉆孔,因?yàn)橛脵C(jī)械鉆孔方法不能滿(mǎn)足技術(shù)要求。

用戶(hù)D:該客戶(hù)加工的孔徑范圍大,而且產(chǎn)量高。此時(shí)可采用多種加工工藝,利用機(jī)械鉆孔和激光鉆孔相結(jié)合的辦法,使產(chǎn)量達(dá)到最高以及單位鉆孔費(fèi)用最低。

結(jié)論

#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#激光鉆孔對(duì)于加工小于0.006(150μm)孔徑的微孔而言,它是一種最經(jīng)濟(jì)的方法,現(xiàn)在總的趨勢(shì)是朝覆銅材料和雙激光加工方向發(fā)展。機(jī)械鉆孔則是一種成熟的技術(shù),同時(shí)也有新的發(fā)展,如加工0.004(100um)或以上過(guò)孔時(shí)的深度控制。在加工通孔和盲孔時(shí),機(jī)械鉆孔依然是最經(jīng)濟(jì)的鉆孔方法。隨著平均失效時(shí)間(MTBF)以及產(chǎn)能的不斷改進(jìn),今后將會(huì)出現(xiàn)更為經(jīng)濟(jì)的激光鉆孔系統(tǒng)。

 

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