主要用于激光鉆孔應用的激光器是 CO2、Nd:YAG、準分子和銅蒸氣激光器 (CVL)。

CO2激光

脈沖模式的 CO2 激光器可用于金屬和非金屬的鉆孔。然而，尤其是在金屬上鉆小孔和/或深孔時，Nd:YAG 激光器更適合，因為它在較短波長（Nd:YAG 為 1.06μm，CO2 為 10.6μm）下具有更好的能量耦合，并且峰值功率更高和脈沖重復率，中低功率 CO2 激光器主要用于非金屬鉆孔應用和陶瓷劃線（即一系列孔）。

Nd:YAG 激光器

Nd:YAG 激光器（基波波長 1.06μm）是用于金屬激光鉆孔的主要激光器，主要應用無疑是航空發(fā)動機部件（渦輪葉片、燃燒室等）的冷卻孔鉆孔。使用非線性晶體（提供倍頻），即縮短激光波長，Nd:YAG 激光器也可以在光譜的可見光或紫外 (UV) 部分工作。

準分子激光器

準分子激光器發(fā)射光譜紫外部分的激光，主要用于精密鉆孔、仿形和微加工，如微電子行業(yè)中印刷電路板/印刷線路板的微孔鉆孔。它們也最適合在一個或幾個步驟中制作孔陣列。由于低脈沖重復率，準分子激光器不太適合用于金屬。

銅蒸氣激光器 (CVL)

基本 CVL 產(chǎn)生光譜可見部分（綠色和黃色）的激光， CVL 固有地以非常高的重復率脈沖。 CVL 與準分子激光器一樣，用于精密鉆孔、仿形和微加工。 CVL 可用于大多數(shù)材料，包括金屬。