隨著工業(yè)智能化趨勢(shì)、精密化加工趨勢(shì),精密3C產(chǎn)業(yè)、機(jī)械設(shè)備、新能源汽車等行業(yè)領(lǐng)域?qū)す饩芗庸さ男枨笱该桶l(fā)展,使得激光加工技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用得到更全面的推廣。
由于光學(xué)和掃描儀之間固有的非線性特性,使得振鏡在掃描過(guò)程中存在著圖形失真,作為“工業(yè)激光3D動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)領(lǐng)跑者”,F(xiàn)EELTEK設(shè)計(jì)了一套全新的在線補(bǔ)償算法來(lái)消除光學(xué)畸變等問(wèn)題。
高精度激光聯(lián)動(dòng)平臺(tái)
振鏡平臺(tái)聯(lián)動(dòng)
本方案整合了振鏡的高加速優(yōu)勢(shì)和平臺(tái)的尺寸拓展的方向進(jìn)行研發(fā)。將2D振鏡(G-X,G-Y)以及使用直線電機(jī)的XY平臺(tái)(Stage-X,Stage-Y)混合進(jìn)同一坐標(biāo)系,進(jìn)行聯(lián)動(dòng)控制。變相的將基于2D振鏡的精細(xì)微加工區(qū)進(jìn)行拓展,同時(shí)優(yōu)化急轉(zhuǎn)角或小特征的能量堆積現(xiàn)象,減少或消除同一位置的二次加工造成的疤痕或誤差,使加工效率提升、節(jié)拍縮短、良品率突破性地提升。
聯(lián)動(dòng)算法優(yōu)化
振鏡移動(dòng)速度快,平臺(tái)移動(dòng)范圍廣,鏡臺(tái)聯(lián)動(dòng)時(shí)動(dòng)作被分解到振鏡+平臺(tái)的運(yùn)動(dòng),需要節(jié)拍最快精度+速度二者兼顧。采用分頻控制算法,又稱運(yùn)動(dòng)矢量分解,使振鏡發(fā)揮最大的作用,分擔(dān)平臺(tái)的工作,使平臺(tái)工作量減到最?。煌瑫r(shí)優(yōu)化算法使振鏡能夠在恰當(dāng)?shù)牡胤桨l(fā)揮作用。
PWM控制
通過(guò)控制器產(chǎn)生PWM脈沖,經(jīng)過(guò)伺服放大器后,之際額踴躍Motor的電流環(huán)控制。同時(shí)光柵尺信號(hào)直接反饋到控制器,進(jìn)而構(gòu)成全閉環(huán)的控制。獲取到更高的控制權(quán)和實(shí)時(shí)性,縮短控制周期。
應(yīng)用領(lǐng)域(該方案可適用于但不限于以下應(yīng)用領(lǐng)域)
面板行業(yè)的大尺寸PI薄膜切割、面板切割、PCB制版及鉆孔,精密模具的表面紋理加工、蝕刻模板的精細(xì)劃線等。
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當(dāng)激光從一種工具變成一種創(chuàng)新工具,有工藝內(nèi)涵的動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)位居功臣之列,專業(yè)開(kāi)發(fā)動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)的團(tuán)隊(duì)和企業(yè)被賦予了更多的期待。菲鐳泰克立足以工業(yè)激光3D動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)領(lǐng)跑者為戰(zhàn)略,深耕動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)的應(yīng)用工藝,先后推出基于激光器輸出光束的前聚焦動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)、后聚焦的動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)以及可靈活定制的動(dòng)態(tài)聚焦單元DFM(Dynamic Focus Module)。
未來(lái),菲鐳泰克將持續(xù)加強(qiáng)與裝備集成商的協(xié)作,為實(shí)現(xiàn)加工工藝的完整落地和關(guān)鍵指標(biāo)的工藝驗(yàn)證付諸更多的行動(dòng),為更多行業(yè)集成商提供完善的閉環(huán)裝備工藝方案。
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