閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
測試測量

激光位移傳感器在精密測厚中的實現(xiàn)

星之球激光 來源:中電網(wǎng)2012-08-03 我要評論(0 )   

激光 三角漫反射位移 傳感器 用于測厚有明顯優(yōu)點: -非常小的 測量 光斑 ,是點光面積,如真尚有公司ZLDS10X系列光斑面積約1mm,它比面積型非接觸電容、電渦流傳感器,...

     激光三角漫反射位移傳感器用于測厚有明顯優(yōu)點:

  -非常小的測量光斑,是點光面積,如真尚有公司ZLDS10X系列光斑面積約1mm,它比面積型非接觸電容、電渦流傳感器,對被測體面積幾乎無要求,適合測量非常小面積尺寸厚度;

  -較遠(yuǎn)的測量范圍起始間距。它比非接觸電容、電渦流傳感器起始間距大很多,如真尚有公司ZLDS100激光位移傳感器測量量程100mm,測量間距可以達(dá)到1000mm.這樣傳感器可以遠(yuǎn)離被測體,免受碰壞,及被測體熱輻射影響;

  -有很大的測量范圍,如真尚有公司ZLDS101激光位移傳感器量程達(dá)2000mm,這是其它傳感器很難做到的;

  -與被測體材料無關(guān),即金屬非金屬體,非透明有漫反射條件表面都能測。

  和其它傳感器測厚一樣,要實現(xiàn)精密測厚需要注意以下條件,否則再好的傳感器也測不準(zhǔn):

 

  1、用單激光位移傳感器測厚

 

  被測體放在測量平臺上,測量出傳感器到平臺表面距離,然后再測出傳感器到被測體表面間距,經(jīng)計算后測出厚度。要求被測體與測量平臺之間無氣隙,被測體無翹起。這些嚴(yán)格要求只有在離線情況實現(xiàn)。

 

  

 

  2、 雙激光傳感器測厚

 

  在被測體上方和下方各安裝一個激光位移傳感器,被測體厚度D=C-(A+B)。其中,C是兩個傳感器之間距離,A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離,B是下面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離。圖中:SMR是指傳感器量程起始間距,MR是指傳感器量程。

  在線厚度測量用這種方法優(yōu)點是可消除被測體振動對測量結(jié)果的影響。但同時對傳感器安裝和性能有要求。

  保證測量準(zhǔn)確性的條件是:兩個傳感器發(fā)射光束必須同軸,以及兩個傳感器掃描必須同步(見本文附圖)。同軸是靠安裝實現(xiàn),而同步要靠選擇有同步端激光傳感器。如真尚有ZLDS10X系列激光位移傳感器都有同步端。

  同步工作示意圖:

 

  

 

  不同步將代來很大誤差:如果被測體存在振動頻率20HZ,振幅1mm,如果信號不同步延遲1ms,那么就會帶來125?m誤差。

  安裝兩個激光同軸示意圖:

 

  

 

  安裝使兩個激光同軸,不但確保被測體同一位置上的厚度,同時降低了被測體傾斜帶來的誤差。以被測體運動方向不同軸為例,當(dāng)不同軸1mm,被測體傾斜2°可帶來35?m誤差。

 

  

 

轉(zhuǎn)載請注明出處。

暫無關(guān)鍵詞
免責(zé)聲明

① 凡本網(wǎng)未注明其他出處的作品,版權(quán)均屬于激光制造網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。獲本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使 用,并注明"來源:激光制造網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)責(zé)任。
② 凡本網(wǎng)注明其他來源的作品及圖片,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),版權(quán)歸原作者所有,如有侵權(quán)請聯(lián)系我們刪除。
③ 任何單位或個人認(rèn)為本網(wǎng)內(nèi)容可能涉嫌侵犯其合法權(quán)益,請及時向本網(wǎng)提出書面權(quán)利通知,并提供身份證明、權(quán)屬證明、具體鏈接(URL)及詳細(xì)侵權(quán)情況證明。本網(wǎng)在收到上述法律文件后,將會依法盡快移除相關(guān)涉嫌侵權(quán)的內(nèi)容。

網(wǎng)友點評
0相關(guān)評論
精彩導(dǎo)讀