激光檢測技術(shù)應(yīng)用十分廣泛，如激光干涉測長、激光測距、激光測振、激光測速、激光散斑測量、激光準(zhǔn)直、激光全息、激光掃描、激光跟蹤、激光光譜分析等都顯示了激光測量的巨大優(yōu)越性。激光外差干涉是納米測量的重要技術(shù)。激光測量是一種非接觸式測量，不影響被測物體的運(yùn)動，精度高、測量范圍大、檢測時間短，具有很高的空間分辨率。

　　測量原理

　　1.激光測距原理（ZDM/LDM）

　　先由激光二極管對準(zhǔn)目標(biāo)發(fā)射激光脈沖。經(jīng)目標(biāo)反射后激光向各方向散射。部分散射光返回到傳感器接收器，被光學(xué)系統(tǒng)接收后成像到雪崩光電二極管上。雪崩光電二極管是一種內(nèi)部具有放大功能的光學(xué)傳感器，因此它能檢測極其微弱的光信號。記錄并處理從光脈沖發(fā)出到返回被接收所經(jīng)歷的時間，即可測定目標(biāo)距離。激光傳感器必須極其精確地測定傳輸時間，因?yàn)楣馑偬?。如，光速約為3X10^8m/s，要想使分辨率達(dá)到1mm，則測距傳感器的電子電路必須能分辨出以下極短的時間： 0.001m(3X10^8m/s)=3ps 要分辨出3ps的時間，這是對電子技術(shù)提出的過高要求，實(shí)現(xiàn)起來造價太高。但是如今的激光傳感器巧妙地避開了這一障礙，利用一種簡單的統(tǒng)計學(xué)原理，即平均法則實(shí)現(xiàn)了1mm的分辨率，并且能保證響應(yīng)速度。遠(yuǎn)距離激光測距儀在工作時向目標(biāo)射出一束很細(xì)的激光，由光電元件接收目標(biāo)反射的激光束，計時器測定激光束從發(fā)射到接收的時間，計算出從觀測者到目標(biāo)的距離；LED白光測速儀成像在儀表內(nèi)部集成電路芯片CCD上，CCD芯片性能穩(wěn)定，工作壽命長，且基本不受工作環(huán)境和溫度的影響。因此，LED白光測速儀測量精度有保證，性能穩(wěn)定可靠。

　　2.激光測位移原理（ZLDS10X/ZLDS11X）

　　激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面，經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭，被內(nèi)部的CCD線性相機(jī)接收，根據(jù)不同的距離，CCD線性相機(jī)可以在不同的角度下“看見”這個光點(diǎn)。根據(jù)這個角度及已知的激光和相機(jī)之間的距離，數(shù)字信號處理器就能計算出傳感器和被測物體之間的距離。同時，光束在接收元件的位置通過模擬和數(shù)字電路處理，并通過微處理器分析，計算出相應(yīng)的輸出值，并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi)，按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號。如果使用開關(guān)量輸出，則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通，窗口之外截止。另外，模擬量與開關(guān)量輸出可獨(dú)立設(shè)置檢測窗口。