深紫外全固態(tài)激光源指輸出波長在200納米以下的固體激光器，與同步輻射和氣體放電光源等現(xiàn)有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。

　　中科院自上世紀(jì)90年代初開始研究深紫外非線性光學(xué)晶體和激光技術(shù)，經(jīng)過20多年努力，在國際上首次生長出可直接倍頻產(chǎn)生深紫外激光非線性光學(xué)晶體，并發(fā)明棱鏡耦合技術(shù)，率先發(fā)展出實用化的深紫外固態(tài)激光源，使中國成為當(dāng)今世界上唯一掌握深紫外全固態(tài)激光技術(shù)的國家。

　　中國科學(xué)家利用獨創(chuàng)、獨有的深紫外技術(shù)和深紫外激光非線性光學(xué)晶體，已成功研制出深紫外激光拉曼光譜儀、深紫外激光發(fā)射電子顯微鏡等8臺深紫外固態(tài)激光源前沿裝備，均為當(dāng)今世界所獨有的科研利器，居深紫外領(lǐng)域國際領(lǐng)先地位。

　　總投資1.8億元人民幣的深紫外固態(tài)激光源前沿裝備研制項目，2008年啟動實施以來進展順利，現(xiàn)已研制成功的8臺前沿裝備還包括深紫外激光光化學(xué)反應(yīng)儀、深紫外激光光致發(fā)光光譜儀、深紫外激光自旋分辨角分辨光電子能譜儀、深紫外激光原位時空分辨隧道電子譜儀、基于飛行時間能量分析器的深紫外激光角分辨光電子能譜儀等國際領(lǐng)先水平的儀器設(shè)備，另外1臺光子能量可調(diào)深紫外激光光電子能譜儀研制工作也已基本完成，正在調(diào)試之中，多臺儀器設(shè)備已初步用于前沿科學(xué)研究，并表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。

　　中科院整合麾下理化技術(shù)研究所、物理研究所、大連化學(xué)物理研究所、半導(dǎo)體研究所科研資源，在財政部專項資金支持下，設(shè)立深紫外固態(tài)激光源前沿裝備研制項目，設(shè)計出從“材料-器件-裝備-科學(xué)研究”完整研發(fā)體系。在成功研制8臺重大儀器設(shè)備的同時，還搭建有深紫外非線性晶體和器件研制平臺、深紫外固態(tài)激光器研發(fā)平臺和深紫外應(yīng)用儀器開發(fā)平臺，核心器件深紫外晶體及器件已實現(xiàn)小批量生產(chǎn)，為儀器設(shè)備后續(xù)發(fā)展尤其是產(chǎn)業(yè)化工作奠定了基礎(chǔ)。

　　深紫外固態(tài)激光技術(shù)突破是中國新型科學(xué)儀器研發(fā)的難得機遇。中科院在前期工作基礎(chǔ)上，正組織專家進一步調(diào)研，一方面，將研制成功的8臺儀器設(shè)備中技術(shù)成熟、具有市場潛力的發(fā)展為商品化儀器設(shè)備，推動中國高端科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)化;另一方面，進一步整合人才、技術(shù)力量，繼續(xù)研發(fā)新型深紫外科學(xué)儀器和設(shè)備。