理光工業(yè)解決方案公司(RICOH Industrial Solutions,總部:橫濱市)將于2016年2月29日開始銷售超短光纖激光器“RICOH SU-1020”。該產(chǎn)品采用直接調(diào)制方式的初始光源,能夠改變脈沖寬度和反復(fù)頻率??蓱?yīng)用于多種加工用途,包括薄膜太陽能電池單元等的圖案形成加工、平板顯示器用玻璃等的切割加工、微細光學(xué)元件模型等的微細加工等。
激光波長為1064±3nm,平均輸出功率最大16W。據(jù)介紹,在10W以上光纖激光器中,這是業(yè)內(nèi)首款采用直接調(diào)制方式的。脈沖寬度可在50ps~9ns的范圍內(nèi)任意設(shè)定,反復(fù)頻率可在200kHz~4MHz的范圍內(nèi)任意設(shè)定。這樣便可充分利用熱加工的加工性優(yōu)點及非熱加工的高加工品質(zhì)優(yōu)點,實現(xiàn)融合兩方面優(yōu)點的復(fù)合加工。
脈沖能量在2MHz(8W)下為4μJ/100ps、在200kHz(8W)下為40μJ/1ns。峰值功率最大為41kW。如果調(diào)整脈沖能量,還可將利用光熱作用急劇加熱加工對象物使之氣化的熱熔融加工,與瞬間照射高峰值功率光束以破壞原子間鍵合的消融加工相組合,輕松設(shè)定最優(yōu)加工條件。
另外,該激光器還可防止對加工部周圍造成熱損傷,也是其優(yōu)點之一。這得益于最短脈沖寬度縮短到了比熱擴散時間更短的50ps。在微細加工中,可減少基材變焦、變質(zhì)、變形的情況。另外,如果設(shè)定對主振蕩器產(chǎn)生的脈沖串實施間歇驅(qū)動的“猝發(fā)門控(Burst Gate)振蕩模式”,還可降低因空間性脈沖重疊導(dǎo)致的熱量積蓄,提高非熱加工性能。
輸出光束直徑為1mm。在以光纖放大器為基礎(chǔ)的同時使用混合激光器技術(shù),可輕松聚斂光束。據(jù)介紹,能夠以數(shù)μm級別實現(xiàn)反復(fù)再現(xiàn)性高的微細加工。
另外,該激光器采用將激光頭從脈沖引擎部分分離出來的設(shè)計,可輕松配備到可動載物臺及機器手上。外形尺寸方面,脈沖引擎部分為寬480×進深504×高199mm,激光頭部分為寬38×進深45×高250mm。
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