作為后聚焦掃描系統(tǒng)和機(jī)械傳動裝置的完美結(jié)合, 三維動態(tài)掃描系統(tǒng)由于其優(yōu)越特性已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于現(xiàn)代激光加工領(lǐng)域(切割, 達(dá)標(biāo)或三維成型等).
        在傳統(tǒng)的前聚焦式掃描系統(tǒng)中, 掃描振鏡放置在聚焦目鏡(比如平常聚焦鏡和遠(yuǎn)心掃描透鏡)的前面, 在目鏡的焦平面出得到一個平面掃描場. 這種系統(tǒng)成本較低, 掃描速度較快, 可是掃描場大小和光斑質(zhì)量嚴(yán)重的受限于透鏡設(shè)計.
       不同于前聚焦式掃描系統(tǒng), 在三維動態(tài)掃描系統(tǒng)中, 掃描振鏡被放置于聚焦鏡的后方. 其聚焦鏡系統(tǒng)由一片可移動的擴(kuò)束鏡片和一個聚焦鏡片組構(gòu)成. 激光束先進(jìn)入擴(kuò)束鏡片, 再進(jìn)入聚焦鏡片組, 然后經(jīng)過掃描振鏡的反射, 最后才到達(dá)焦平面. 利用一個傳動裝置沿光軸方向移動擴(kuò)束鏡片, 將會改變擴(kuò)束鏡片與聚焦鏡片組之間的距離, 從而可以再在二維或三維空間內(nèi)改變聚焦光點的位置, 稱之為"三維掃描". 這個系統(tǒng)的聚焦面是一個曲面, 平場可以通過配合掃描振鏡的轉(zhuǎn)動微調(diào)擴(kuò)束鏡片與聚焦鏡片組之間的距離來實現(xiàn).
一個三維動態(tài)掃描系統(tǒng)通常具有以下優(yōu)點:
* 一組系統(tǒng)即可實現(xiàn)掃描范圍從100毫米x100毫米到2000毫米x2000毫米;
* 相對于前聚焦式系統(tǒng)可以得到更小的聚焦光斑;
* 可以提高聚焦光斑的均勻性.