閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
電子加工新聞

3分鐘了解高功率半導(dǎo)體激光器的關(guān)鍵技術(shù)

Nick 來源:光粒網(wǎng)2018-08-17 我要評論(0 )   

激光應(yīng)用需求的不斷提高,對半導(dǎo)體激光器的要求也越來越高,主要體現(xiàn)在以下幾個方面: 提高輸出功率,開發(fā)高功率的二維或者三維列陣,以滿足工業(yè)加工等領(lǐng)域?qū)β实男枨?..

激光應(yīng)用需求的不斷提高,對半導(dǎo)體激光器的要求也越來越高,主要體現(xiàn)在以下幾個方面:

提高輸出功率,開發(fā)高功率的二維或者三維列陣,以滿足工業(yè)加工等領(lǐng)域?qū)β实男枨?;提高電光轉(zhuǎn)換效率,實現(xiàn)激光系統(tǒng)的小型化和高效化,較少散熱壓力,降低成本;提高光束質(zhì)量;提高可靠性,即在高峰值功率和極其惡劣的環(huán)境中也能自由使用,如滿足空間航天飛行器在輻射大、溫差大環(huán)境中使用。

高功率半導(dǎo)體激光器的關(guān)鍵技術(shù)

結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化

高功率半導(dǎo)體激光器的發(fā)展與其外延與芯片結(jié)構(gòu)的研究設(shè)計緊密相關(guān)。結(jié)構(gòu)設(shè)計是高功率半導(dǎo)體激光器器件的基礎(chǔ)。半導(dǎo)體激光器的三個基本原理性問題是:電注入和限制、電光轉(zhuǎn)換、光限制和輸出,分別對應(yīng)電注入設(shè)計、量子阱設(shè)計、波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的光場設(shè)計。半導(dǎo)體激光器的結(jié)構(gòu)研究改進(jìn)就是從這三個方面進(jìn)行不斷優(yōu)化,發(fā)展了非對稱寬波導(dǎo)結(jié)構(gòu),優(yōu)化了量子阱、量子線、量子點以及光子晶體結(jié)構(gòu),促進(jìn)了激光器技術(shù)水平的不斷提升,使得激光器的輸出功率、電光轉(zhuǎn)換效率越來越高,光束質(zhì)量越來越好,可靠性越來越高。

高質(zhì)量的外延材料生長技術(shù)

半導(dǎo)體激光器外延材料生長技術(shù)是半導(dǎo)體激光器研制的核心。高質(zhì)量的外延材料生長工藝,極低的表面缺陷密度和體內(nèi)缺陷密度是實現(xiàn)高峰值功率輸出的前提和保證。另外雜質(zhì)在半導(dǎo)體材料中也起著重要的作用,可以說,沒有精確的半導(dǎo)體外延摻雜工藝,就沒有高性能的量子阱激光器。主要通過對摻雜曲線的優(yōu)化,減少光場與重?fù)诫s區(qū)域的重疊,從而減少自由載流子吸收損耗,提高器件的轉(zhuǎn)換效率。

腔面處理技術(shù)

大功率半導(dǎo)體激光器的應(yīng)用通常要求激光器輸出功率很高且有較好的可靠性。而制約半導(dǎo)體激光器輸出功率的主要瓶頸就是高功率密度下腔面退化導(dǎo)致的光學(xué)災(zāi)變損傷(COMD)。

在半導(dǎo)體激光器的腔面區(qū)域,由于解理、氧化等原因存在大量的缺陷,這些缺陷成為光吸收中心和非輻射復(fù)合中心。光吸收產(chǎn)生的熱量使腔面溫度升高,溫度升高造成帶隙減小,因而在腔面區(qū)域與激光器內(nèi)部區(qū)域之間形成了一個電勢梯度,引導(dǎo)載流子向腔面區(qū)域注入,更重要的是帶隙減小后帶間光吸收增強,兩者都會使腔面區(qū)域的載流子濃度升高,增強非輻射復(fù)合,使腔面溫度進(jìn)一步升高。另一方面,大功率半導(dǎo)體激光器較大的電流注入也增強了腔面非輻射復(fù)合。正是光吸收、非輻射復(fù)合、溫度升高和帶隙減小的正反饋過程使腔面的溫度快速升高,最終腔面燒毀,即發(fā)生COMD。

腔面問題的根源是腔面缺陷的存在,包括腔面的污染、氧化、材料缺陷等,這些腔面缺陷首先影響COMD的一致性,其次會導(dǎo)致器件的退化,影響長期穩(wěn)定性。一般可以通過各種腔面鈍化和鍍膜技術(shù),減少或者消除腔面的缺陷和氧化,降低腔面的光吸收,提高腔面的 COMD 值,從而實現(xiàn)高峰值功率輸出。

集成封裝技術(shù)

激光芯片的冷卻和封裝是制造大功率半導(dǎo)體激光器的重要環(huán)節(jié),而激光器光束整形和激光集成技術(shù)是獲得千瓦、萬瓦級激光的主要途徑。由于大功率半導(dǎo)體激光器的輸出功率高、發(fā)光面積小,其工作時產(chǎn)生的熱量密度很高,這對封裝結(jié)構(gòu)和工藝提出了更高要求。高功率半導(dǎo)體激光器封裝關(guān)鍵技術(shù)研究,就是從熱、封裝材料、應(yīng)力方面著手,解決熱管理和熱應(yīng)力的封裝設(shè)計,實現(xiàn)直接半導(dǎo)體激光器向高功率、高亮度、高可靠性發(fā)展的技術(shù)突破。

半導(dǎo)體激光器的應(yīng)用

半導(dǎo)體激光器的直接應(yīng)用領(lǐng)域已經(jīng)有了廣泛的拓展。除了作為固體激光器、光纖激光器的泵源之外,還直接應(yīng)用于光通訊、工業(yè)加工、醫(yī)療美容、照明監(jiān)控等很多領(lǐng)域。近年來半導(dǎo)體激光器在3D傳感、激光雷達(dá)、激光顯示等領(lǐng)域的新應(yīng)用已吸引了人們極大的關(guān)注。

通信與光存儲

光通信領(lǐng)域目前仍是半導(dǎo)體激光器應(yīng)用的最大市場,光纖通信已經(jīng)成為當(dāng)代通信技術(shù)的主流。同時也是光并行處理系統(tǒng)的理想光源,可以用于光計算機和光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)。目前光通信領(lǐng)域主要應(yīng)用的是1.3 μm和1.55 μm的InGaAsP/InP半導(dǎo)體激光器。而光信息和存儲主要應(yīng)用的紅光激光器和藍(lán)光激光器,可實現(xiàn)高密度信息存儲和處理。

抽運光源

半導(dǎo)體激光器抽運固體激光器和光纖激光器是大功率半導(dǎo)體激光器應(yīng)用最多的領(lǐng)域。作為抽運源,半導(dǎo)體激光器有著其他光源不可取代的優(yōu)越性,光纖激光器成為近五年來影響最大的抽運市場。而其抽運源,分為單芯片耦合光纖輸出和bar條耦合光纖兩大類。常用的是105 μm/NA0.22光纖連續(xù)輸出30-120 W;200 μm /NA0.22光纖連續(xù)輸出50-300 W,波長覆蓋808-976 nm。

圖 光纖耦合輸出抽運源

激光顯示與醫(yī)療

激光顯示因具有色域空間大、亮度高、壽命長、易于實現(xiàn)大屏顯示等優(yōu)勢,市場潛力巨大。為了獲得更好的視覺體驗,激光顯示用的紅光激光器波長越短,能獲得更好的視覺體驗。比如人眼在640 nm的敏感系數(shù)是660 nm的3倍。但對于AlGaInP紅光半導(dǎo)體激光器,波長越短,有源區(qū)材料的帶隙越高,載流子更容易從有源區(qū)中溢出進(jìn)入限制層,降低激光器的效率及可靠性。綜合各種因素,激光顯示用紅光激光器的波長一般選擇640 nm。在激光醫(yī)療領(lǐng)域,650 -680 nm紅光激光器的使用也越來越搶眼,在理療、細(xì)胞檢測、光動力治療等方面得到了很好的應(yīng)用。

圖 瓦級640~680 nm紅光半導(dǎo)體激光器

工業(yè)加工

材料加工領(lǐng)域是目前激光應(yīng)用領(lǐng)域的第二大領(lǐng)域,也是最近發(fā)展最快的領(lǐng)域,這得益于光纖激光器技術(shù)的飛速發(fā)展。激光加工是基于各類材料的光熱效應(yīng)加工,在不同的激光功率密度下,材料表面區(qū)域發(fā)生溫度升高、融化、氣化以及光致等離子體等變化,根據(jù)表面變化程度形成了退火、熔覆、焊接、切割、打孔等不同的應(yīng)用。

圖 用于激光熔覆、醫(yī)療美容等領(lǐng)域的激光器bar條疊陣產(chǎn)品

照明監(jiān)控

隨著人們對安全防范意識的增強,對監(jiān)控攝像機的要求越來越高,特別是邊/海防、森林防火、鐵路交通等特殊場合。而激光監(jiān)控具有探測距離遠(yuǎn)、可靠性高、功耗小、清晰度高等優(yōu)點,在長距離監(jiān)控應(yīng)用中得到了飛速發(fā)展。以940 nm為代表的半導(dǎo)體激光器在高鐵、高速公路、森林防火、邊海防等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,半導(dǎo)體激光器本身在功率、波長、工作方式等方面都有很大的拓展空間,也進(jìn)一步促進(jìn)了激光顯示、激光智能識別、虛擬現(xiàn)實、精密加工、醫(yī)學(xué)檢測等新興產(chǎn)業(yè)的崛起,半導(dǎo)體激光器作為核心元器件,已走進(jìn)千家萬戶,在國計民生各個領(lǐng)域都發(fā)揮著越來越重要的作用。

作者簡介

李沛旭,博士,山東華光光電子股份有限公司應(yīng)用研究員,主要從事半導(dǎo)體激光器的材料、結(jié)構(gòu)及器件的設(shè)計制作和研究工作;朱振,博士,高工,主要從事半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)設(shè)計、外延工藝等研究和生產(chǎn)工作。

轉(zhuǎn)載請注明出處。

半導(dǎo)體激光器激光技術(shù)
免責(zé)聲明

① 凡本網(wǎng)未注明其他出處的作品,版權(quán)均屬于激光制造網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。獲本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使 用,并注明"來源:激光制造網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)責(zé)任。
② 凡本網(wǎng)注明其他來源的作品及圖片,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),版權(quán)歸原作者所有,如有侵權(quán)請聯(lián)系我們刪除。
③ 任何單位或個人認(rèn)為本網(wǎng)內(nèi)容可能涉嫌侵犯其合法權(quán)益,請及時向本網(wǎng)提出書面權(quán)利通知,并提供身份證明、權(quán)屬證明、具體鏈接(URL)及詳細(xì)侵權(quán)情況證明。本網(wǎng)在收到上述法律文件后,將會依法盡快移除相關(guān)涉嫌侵權(quán)的內(nèi)容。

網(wǎng)友點評
0相關(guān)評論
精彩導(dǎo)讀