【持有單位】中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
【所屬領(lǐng)域】新一代信息技術(shù)
【項目概要】
新型激光光束光場在線測量儀研制項目針對光束質(zhì)量測定、表面面型測量等需求，基于波前編碼成像技術(shù)，實現(xiàn)光束光場在線測量和元件面型檢測功能，達(dá)到高的空間分辨率和測量精度，技術(shù)水平達(dá)到國際領(lǐng)先。本項目生產(chǎn)的測量儀能夠?qū)崿F(xiàn)光束振幅與相位的同時在線測量，具有與干涉儀相當(dāng)?shù)臏y量精度及哈特曼傳感器相似的使用方便性，能夠用于測量高度不規(guī)整大口徑光學(xué)元件面型、元件在重力和裝校應(yīng)力作用下所導(dǎo)致的變形、溫度變化導(dǎo)致的光學(xué)參數(shù)變化等。
本產(chǎn)品在軍用方面，能夠用于激光驅(qū)動器光場精密在線測量；在民用方面，可以用于光束質(zhì)量測定、表面面型測量等，在微觀測量方面可以用于生物醫(yī)學(xué)檢測、材料結(jié)構(gòu)測定等。
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