隨著物聯(lián)網(wǎng)(Internet of Things，IoT)時代的到來，對可穿戴透明顯示器的強勁需求一直在增長，其可以應(yīng)用到各種領(lǐng)域，如增強現(xiàn)實(AR)和類似皮膚的柔性薄器件。然而，以前的柔性透明顯示器具有一些真正的挑戰(zhàn)需要克服，透明度差和低劣的電學(xué)性能就是其中的兩個挑戰(zhàn)。為了提高透明度和性能，過去的研究工作嘗試了使用以無機物為基礎(chǔ)的電子產(chǎn)品，但塑料襯底的基本的熱不穩(wěn)定性限制了高溫工藝的進行，而高溫工藝是制造高性能電子設(shè)備所必需的一個重要步驟。
為解了決這個問題，韓國科學(xué)技術(shù)學(xué)院(KAIST)材料科學(xué)與工程系的Keon Jae Lee和Sang-Hee Ko Park教授領(lǐng)導(dǎo)的一個研究小組采用無機激光剝離法開發(fā)了用于柔性顯示器有源矩陣背板的超薄透明氧化物薄膜晶體管(TFT)。Lee教授的研究小組先前在能量收集器件(《Advanced Materials》，2014年2月12日)和柔性內(nèi)存器件(《Advanced Materials》，2014年9月8日)上證明了無機激光剝離(ILLO)技術(shù)。
該研究小組在具有激光活性的犧牲性襯底上制作了一個高性能的氧化物TFT陣列。在從襯底背面用激光進行照射之后，由于激光和激光活性層之間的作用，只有氧化物TFT陣列從犧牲性襯底上分離出來，并隨后被轉(zhuǎn)移到超薄(4μm厚)塑料上。最后，這個轉(zhuǎn)移之后的用于柔性顯示器的超薄氧化物驅(qū)動電路被緊貼著連接到人體皮膚表面來展示用于可穿戴應(yīng)用的可能性。這個粘附的氧化物TFT即使經(jīng)過幾個周期的嚴重彎曲試驗之后，仍然顯示了83%的高光學(xué)透明度和40cm^2/(V*s)的電子遷移率。
Lee教授說，“通過使用我們的無機激光剝離工藝，去掉了昂貴的聚酰亞胺襯底，高性能透明柔性顯示器的技術(shù)障礙被以較低的成本克服了。此外，這個高品質(zhì)的氧化物半導(dǎo)體可以很容易地轉(zhuǎn)移到類似皮膚或任何用于可穿戴式應(yīng)用的柔性基板上。”
此圖像顯示了采用無機激光剝離工藝生產(chǎn)的超薄、柔性和透明的氧化物薄膜晶體管。
為解了決這個問題，韓國科學(xué)技術(shù)學(xué)院(KAIST)材料科學(xué)與工程系的Keon Jae Lee和Sang-Hee Ko Park教授領(lǐng)導(dǎo)的一個研究小組采用無機激光剝離法開發(fā)了用于柔性顯示器有源矩陣背板的超薄透明氧化物薄膜晶體管(TFT)。Lee教授的研究小組先前在能量收集器件(《Advanced Materials》，2014年2月12日)和柔性內(nèi)存器件(《Advanced Materials》，2014年9月8日)上證明了無機激光剝離(ILLO)技術(shù)。
該研究小組在具有激光活性的犧牲性襯底上制作了一個高性能的氧化物TFT陣列。在從襯底背面用激光進行照射之后，由于激光和激光活性層之間的作用，只有氧化物TFT陣列從犧牲性襯底上分離出來，并隨后被轉(zhuǎn)移到超薄(4μm厚)塑料上。最后，這個轉(zhuǎn)移之后的用于柔性顯示器的超薄氧化物驅(qū)動電路被緊貼著連接到人體皮膚表面來展示用于可穿戴應(yīng)用的可能性。這個粘附的氧化物TFT即使經(jīng)過幾個周期的嚴重彎曲試驗之后，仍然顯示了83%的高光學(xué)透明度和40cm^2/(V*s)的電子遷移率。
Lee教授說，“通過使用我們的無機激光剝離工藝，去掉了昂貴的聚酰亞胺襯底，高性能透明柔性顯示器的技術(shù)障礙被以較低的成本克服了。此外，這個高品質(zhì)的氧化物半導(dǎo)體可以很容易地轉(zhuǎn)移到類似皮膚或任何用于可穿戴式應(yīng)用的柔性基板上。”
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