隨著物聯(lián)網(wǎng)(Internet of Things，IoT)時(shí)代的到來，對(duì)可穿戴透明顯示器的強(qiáng)勁需求一直在增長(zhǎng)，其可以應(yīng)用到各種領(lǐng)域，如增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)和類似皮膚的柔性薄器件。然而，以前的柔性透明顯示器具有一些真正的挑戰(zhàn)需要克服，透明度差和低劣的電學(xué)性能就是其中的兩個(gè)挑戰(zhàn)。為了提高透明度和性能，過去的研究工作嘗試了使用以無機(jī)物為基礎(chǔ)的電子產(chǎn)品，但塑料襯底的基本的熱不穩(wěn)定性限制了高溫工藝的進(jìn)行，而高溫工藝是制造高性能電子設(shè)備所必需的一個(gè)重要步驟。
為解了決這個(gè)問題，韓國(guó)科學(xué)技術(shù)學(xué)院(KAIST)材料科學(xué)與工程系的Keon Jae Lee和Sang-Hee Ko Park教授領(lǐng)導(dǎo)的一個(gè)研究小組采用無機(jī)激光剝離法開發(fā)了用于柔性顯示器有源矩陣背板的超薄透明氧化物薄膜晶體管(TFT)。Lee教授的研究小組先前在能量收集器件(《Advanced Materials》，2014年2月12日)和柔性內(nèi)存器件(《Advanced Materials》，2014年9月8日)上證明了無機(jī)激光剝離(ILLO)技術(shù)。
該研究小組在具有激光活性的犧牲性襯底上制作了一個(gè)高性能的氧化物TFT陣列。在從襯底背面用激光進(jìn)行照射之后，由于激光和激光活性層之間的作用，只有氧化物TFT陣列從犧牲性襯底上分離出來，并隨后被轉(zhuǎn)移到超薄(4μm厚)塑料上。最后，這個(gè)轉(zhuǎn)移之后的用于柔性顯示器的超薄氧化物驅(qū)動(dòng)電路被緊貼著連接到人體皮膚表面來展示用于可穿戴應(yīng)用的可能性。這個(gè)粘附的氧化物TFT即使經(jīng)過幾個(gè)周期的嚴(yán)重彎曲試驗(yàn)之后，仍然顯示了83%的高光學(xué)透明度和40cm^2/(V*s)的電子遷移率。
Lee教授說，“通過使用我們的無機(jī)激光剝離工藝，去掉了昂貴的聚酰亞胺襯底，高性能透明柔性顯示器的技術(shù)障礙被以較低的成本克服了。此外，這個(gè)高品質(zhì)的氧化物半導(dǎo)體可以很容易地轉(zhuǎn)移到類似皮膚或任何用于可穿戴式應(yīng)用的柔性基板上。”
此圖像顯示了采用無機(jī)激光剝離工藝生產(chǎn)的超薄、柔性和透明的氧化物薄膜晶體管。
為解了決這個(gè)問題，韓國(guó)科學(xué)技術(shù)學(xué)院(KAIST)材料科學(xué)與工程系的Keon Jae Lee和Sang-Hee Ko Park教授領(lǐng)導(dǎo)的一個(gè)研究小組采用無機(jī)激光剝離法開發(fā)了用于柔性顯示器有源矩陣背板的超薄透明氧化物薄膜晶體管(TFT)。Lee教授的研究小組先前在能量收集器件(《Advanced Materials》，2014年2月12日)和柔性內(nèi)存器件(《Advanced Materials》，2014年9月8日)上證明了無機(jī)激光剝離(ILLO)技術(shù)。
該研究小組在具有激光活性的犧牲性襯底上制作了一個(gè)高性能的氧化物TFT陣列。在從襯底背面用激光進(jìn)行照射之后，由于激光和激光活性層之間的作用，只有氧化物TFT陣列從犧牲性襯底上分離出來，并隨后被轉(zhuǎn)移到超薄(4μm厚)塑料上。最后，這個(gè)轉(zhuǎn)移之后的用于柔性顯示器的超薄氧化物驅(qū)動(dòng)電路被緊貼著連接到人體皮膚表面來展示用于可穿戴應(yīng)用的可能性。這個(gè)粘附的氧化物TFT即使經(jīng)過幾個(gè)周期的嚴(yán)重彎曲試驗(yàn)之后，仍然顯示了83%的高光學(xué)透明度和40cm^2/(V*s)的電子遷移率。
Lee教授說，“通過使用我們的無機(jī)激光剝離工藝，去掉了昂貴的聚酰亞胺襯底，高性能透明柔性顯示器的技術(shù)障礙被以較低的成本克服了。此外，這個(gè)高品質(zhì)的氧化物半導(dǎo)體可以很容易地轉(zhuǎn)移到類似皮膚或任何用于可穿戴式應(yīng)用的柔性基板上。”
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