準分子激光器推進技術革新
作為當今最有效、最可靠的脈沖紫外激光技術的代表，準分子激光器有效地推進了諸如平板顯示、汽車制造、生物醫(yī)學設備及可替代能源等多種成長型工業(yè)中的技術革新。
波長和輸出功率，這兩個基本屬性的結合，決定了準分子激光器在上述這些高科技產(chǎn)業(yè)中的獨特價值。因為，這些工業(yè)領域比以往任何時候更需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。

紫外表面處理
準分子激光是一種窄帶寬的紫外光源，可以為基于商用激光的制造業(yè)提供最短的波長或（相當于）最高的激光光子能量。由于在激光材料加工領域可以達到的光學分辨率與激光波長有關，因此短波長的準分子激光成為市場上最為精確的光學加工工具。利用基于商用準分子激光的材料加工系統(tǒng)，如圖1所示，可以獲得接近1祄的特征尺寸[1]（具體數(shù)值取決于波長和材料）。


 

圖1. 對堅硬的固體材料層使用248nm準分子激光掩膜成像形成的大面積薄膜圖樣。整個高分辨率圖樣的獲得僅利用了單個準分子激光脈沖。

而且，短波長代表著最小的橫向結構，同時，材料對高光子能量（例如，248nm時為5eV或 193nm時為6.4eV）的強烈吸收，又將意味著激光對材料縱向的影響非常有限。實際上，準分子激光在薄膜材料加工中的深度分辨率在亞微米范圍，通常每脈沖可以小至50nm（具體數(shù)值取決于樣本材料和激光波長）。


 

圖2. 鉆石經(jīng)193nm準分子激光燒蝕形成的凹坑：左圖為10個激光脈沖情況，右圖為600個激光脈沖情況。凹坑的平整度表明了準分子激光光束在整個照明區(qū)域具有極高的均勻性。

準分子激光在樣本材料的橫向及縱向均可以提供無可匹敵的高分辨率光學加工能力。在通過改變微結構來增進大表面功能的領域，準分子激光已成為最為理想的工具。
除此之外，準分子激光是目前基于商用激光的制造業(yè)中，可利用的最強紫外激光。

紫外技術比較
現(xiàn)在，準分子激光在308nm的輸出功率已經(jīng)超過500W，如圖3所示。圖中對基于準分子激光技術、二極管泵浦及閃光燈泵浦的全固態(tài)激光技術所能取得的功率水平進行了對比。目前先進水平的準分子激光器可以輸出高達1J的脈沖能量，同時重復頻率可高達600Hz。由于極高的脈沖能量，可使處于每平方厘米高達1J的能量密度下、面積寬達30mm2的樣品，通過逐個準分子激光脈沖的刻蝕，實現(xiàn)樣品的微細構造。這種微細構造的實現(xiàn)過程，如果轉化到更大的尺度上，可以比喻為用一片片青草去構造足球場。


 

圖3. 各種高功率準分子激光器的輸出功率水平與基于全固態(tài)的355nm激光技術比較，圖中給出了308nm和248nm波長的準分子激光情況。

同時高功率準分子激光器可以在高達600Hz的重復頻率下運轉，使得每秒處理幾十平方厘米的表面加工速度成為可能。
準分子激光器具有可擴展至數(shù)百瓦的較高的單脈沖能量，這意味著可以處理更大的區(qū)域尺寸，同時每秒鐘可提供數(shù)百個脈沖，這必將在制造業(yè)中引發(fā)規(guī)模效應，以前所未有的方式增進盈利。
只有當紫外激光的波長和高輸出功率這兩個必要條件同時具備，正如準分子激光器那樣，才能滿足工業(yè)界對于微尺度構造及快速大面積表面處理（每秒速度達幾十平方厘米）的迫切需求。
事實上，基于表面微結構處理的準分子激光器常常是基本的制造步驟，在下文介紹應用實例時會作進一步闡述。

紫外光的直接產(chǎn)生是關鍵
準分子激光技術的激光躍遷發(fā)生在紫外光譜范圍，正是這個原因，使得準分子激光技術能夠凌駕于其他紫外技術之上。準分子激光是在內(nèi)在機理上直接產(chǎn)生紫外光子，這使其成為市場上最強和最穩(wěn)定的紫外激光光源。


 

表1：各種紫外技術的性能參數(shù)比較（準分子激光 vs. 基于頻率變換的Nd:YAG激光）

與此相反，并行的紫外產(chǎn)生概念基于紅外（IR）及可見光，需要采用非線性頻率轉換技術，這將不可避免地使紫外輸出效率及輸出穩(wěn)定性大打折扣，嚴重影響激光器的實際輸出性能[2]。
表1概括比較了準分子激光器技術和紅外上轉換激光器技術的典型紫外性能參數(shù)。
只有準分子激光器可以直接發(fā)射紫外波長，并且沒有任何其他的技術折中，這使其在微米級高精度加工、高生產(chǎn)能力的批處理及大規(guī)模制造中成為最卓越的解決方案。

經(jīng)紫外準分子處理后獲得更好的表面特性
以下給出的多個應用實例，將最大限度地呈現(xiàn)準分子激光器在當今先進制造領域中的創(chuàng)新潛力。在下述這些制造實例中，均包含生產(chǎn)中起關鍵作用的準分子激光器，以實現(xiàn)性能上的飛躍。


 

圖4. 經(jīng)準分子激光處理的Diesel 引擎汽缸視圖（Audi AG）。