在全球低碳經(jīng)濟與新能源革命的大趨勢下，光熱發(fā)電極有可能成為我國未來份額最大的主導(dǎo)能源。而薄膜太陽能電池作為新一代產(chǎn)品，占領(lǐng)的份額會越來越大。

　　華工激光一直致力于薄膜太陽能電池激光設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)，從承擔《電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金》項目“薄膜太陽能電池激光精密切割系統(tǒng)研制與產(chǎn)業(yè)化”開發(fā)出了第一代薄膜太陽能刻膜和清邊設(shè)備起，到承擔《國家科技支撐計劃》項目“激光精密微細加工技術(shù)、裝備研究及工程示范”開發(fā)出了第二代薄膜太陽能刻膜和清邊設(shè)備，經(jīng)過客戶生產(chǎn)現(xiàn)場的驗證，數(shù)次的改良和優(yōu)化后，現(xiàn)在華工激光推出了全新的第三代刻膜和清邊設(shè)備，并且已經(jīng)應(yīng)用到國內(nèi)主流薄膜電池廠家，而且在臺灣和日本也形成了批量銷售。

圖1薄膜太陽能激光刻膜設(shè)備

　　華工激光的薄膜太陽能激光刻膜設(shè)備主要應(yīng)用在非晶硅薄膜電池的透明導(dǎo)電膜（SnO2、AZO、ITO）、非晶硅膜（a-Si、μc-Si）、背電極膜（ZnO、Al）等的激光刻膜，碲化鎘CdTe薄膜電池的膜層刻膜，銅銦鎵硒CIGS薄膜電池金屬鉬Mo薄膜、金屬鎳Ni薄膜的刻膜?！?/p>

　　華工激光采用兩條技術(shù)路線，分光系統(tǒng)和獨立激光器系統(tǒng)。工作臺面采用支撐式或者氣浮式。整機加工速度最大可以達到1500mm/s, 三線刻膜外沿總寬度可達到200μm，保證電池板更大的發(fā)電量。擁有專利的吸塵機構(gòu)，不僅對激光加工整體部分（全部基板）進行吸塵，玻璃基板移動時依然進行全面吸塵。針對激光/光學(xué)部分的溫度漂移，采用壓縮空氣溫度調(diào)節(jié)器來保證。出現(xiàn)激光光弱的情況，監(jiān)視器功能自動運行調(diào)節(jié)LD電流，保證出光的穩(wěn)定性。

圖2 薄膜太陽能激光清邊設(shè)備

　　華工激光的薄膜太陽能激光清邊設(shè)備主要應(yīng)用在薄膜太陽能電池的周邊鍍膜的刻線絕緣、清邊。

　　華工激光采用振鏡加龍門的架構(gòu)，激光器·光學(xué)設(shè)備·振鏡頭配有循環(huán)冷卻系統(tǒng)，保證設(shè)備的穩(wěn)定性。激光器配備功率監(jiān)測，穩(wěn)定輸出功率，可大幅度減少不良產(chǎn)品?；逋ㄟ^7處定位，同時其中2處進行基板尺寸測量。測量精度達到25μm，基板測量的數(shù)值經(jīng)過反饋后進行加工。為了有效的吸塵，吸塵管以分割構(gòu)造配置在激光加工點的正下方。（邊4處和角4處）邊4處的吸塵管設(shè)計為吸塵切換模式，針對激光加工區(qū)集中吸塵，激光加工時吸塵管上升，以最靠近基板的位置加強流量進行吸塵。該吸塵機構(gòu)實現(xiàn)了完全吸塵的效果。

圖3 紫外激光打標機 #p#分頁標題#e#  #p#分頁標題#e# #p#分頁標題#e#  #p#分頁標題#e# #p#分頁標題#e# #p#分頁標題#e#  圖4光纖激光打標機 #p#分頁標題#e# #p#分頁標題#e#  #p#分頁標題#e# #p#分頁標題#e#  #p#分頁標題#e# #p#分頁標題#e#   #p#分頁標題#e#圖5 CO2激光打標機