該BZPMJ700標準平面鏡由平面反射鏡和精密二維支撐架兩部分組成。經過技術攻堅,已經加工出高精度面形平面反射鏡。直徑700mm的平面反射鏡有效口徑范圍面形精度達到PV=0.187λ、rms=0.018λ、power=0.003λ(λ=632.8nm),為該所自制同尺寸平面鏡最高精度。此項技術的突破標志著奧普光電具備了直徑800mm以內大口徑高精度平面鏡加工能力,單鏡加工周期為半年左右,加工工藝具備定型條件,并能夠延伸開發(fā)制作不同尺寸和種類的標準平面鏡系列產品。此項技術突破為奧普光電創(chuàng)造了新的技術發(fā)展點和經濟增長點。
據(jù)悉,奧普光電也已具備了大尺寸元件的加工能力,成功加工完成了直徑580mm、直徑700mm的離軸拋物鏡,直徑1230mm的球面鏡的加工。
Φ700mm平面標準鏡在所檢測中心用32英寸ZYGO平面干涉儀檢測
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