激光精細(xì)刻劃系統(tǒng)主要由激光器、激光聚焦與成像光學(xué)系統(tǒng)、平移臺和驅(qū)動系統(tǒng)、輸入/輸出控制卡、計算機(jī)和控制軟件等組成。

　　激光器輸出高峰值功率的激光，經(jīng)擴(kuò)束鏡和物鏡形成直徑很小的光斑并聚焦到物件的表面，在局部形成高能量密度的光輻照，材料吸收一部分光能，并將其轉(zhuǎn)換成熱量，熱量會通過材料傳導(dǎo)使物件氣化，達(dá)到打標(biāo)的目的。激光器的功率強(qiáng)度和脈寬是影響激光束與材料相互作用的關(guān)鍵因素，強(qiáng)度越強(qiáng)，脈寬越窄，刻劃越深。聚焦斑點的大小和質(zhì)量是影響激光精細(xì)刻劃的重要因素，激光聚焦的大小還受激光光束質(zhì)量的影響，因此聚焦光斑的大小決定激光精細(xì)刻劃線條的粗細(xì)。

　　 激光精細(xì)刻劃機(jī)的工作過程：激光束經(jīng)過振鏡系統(tǒng)，再經(jīng)物鏡聚焦于物件的表面，計算機(jī)控制振鏡運(yùn)動，實現(xiàn)光束按照設(shè)定的路徑移動并在物件表面形成刻蝕。

　　鉆石激光微刻機(jī)的工作過程：光學(xué)系統(tǒng)將鉆石成像于CCD的像元面上，CCD采集其圖像并顯示在計算機(jī)屏幕上，用于選取刻字的位置，以保證激光光束聚焦于所選區(qū)域的表面。鉆石激光微刻機(jī)采用物件移動的方式進(jìn)行掃描，電動平移臺將物件按照設(shè)定的路徑作二維移動，從而實現(xiàn)激光光束聚焦于物件表面形成刻蝕，該方法更適合精細(xì)標(biāo)刻。