相干公司推出新型準(zhǔn)分子激光退火（ELA）系統(tǒng)VYPER，實(shí)現(xiàn)用于下一代平板顯示器的低溫多晶硅（LTPS）的量產(chǎn)。LTPS是用于智能手機(jī)和平板電腦的輕型節(jié)能液晶顯示器（LCD）和有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）顯示器的關(guān)鍵部件。

　　新型千瓦級VYPER準(zhǔn)分子激光器與改進(jìn)的線光束光學(xué)系統(tǒng)相結(jié)合，提供可升級的平臺，使LTPS顯示器制造商能夠從目前的第四代面板無縫轉(zhuǎn)向第六代，顯著提高產(chǎn)量。而且，VYPER的先進(jìn)設(shè)計(jì)和能力支持直至第八代的設(shè)計(jì)，從而使制造商也能滿足未來嚴(yán)格的成本目標(biāo)。

　　“目前大多數(shù)移動顯示器使用相干公司的準(zhǔn)分子激光器和線光束光學(xué)系統(tǒng)制造。”相干公司副總裁Richard Waldermann說。“隨著準(zhǔn)分子激光器輸出功率和線光束長度的提高，我們看到VYPER系統(tǒng)得到廣泛采用，實(shí)現(xiàn)了直至第八代大尺寸面板的低成本高效的生產(chǎn)。我們期望基于LTPS技術(shù)的相干公司ELA系統(tǒng)繼續(xù)成為快速增長的高分辨率顯示器市場的首選。”
 

圖 相干公司新型準(zhǔn)分子激光退火（ELA）系統(tǒng)VYPER