薄膜測(cè)量系統(tǒng)是基于白光干涉的原理來(lái)確定光學(xué)薄膜的厚度。白光干涉圖樣通過(guò)數(shù)學(xué)函數(shù)被計(jì)算出薄膜厚度。對(duì)于單層膜來(lái)說(shuō)，如果已知薄膜介質(zhì)的n和k值就可以計(jì)算出它的物理厚度。

AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用軟件內(nèi)包含有一個(gè)大部分常用材料和膜層n和k值的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(kù)。

AvaSoft-Thinfilm系統(tǒng)可以測(cè)量的膜層厚度從10nm到50µm，分辨率可達(dá)1nm。

薄膜測(cè)量廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)工業(yè)，此時(shí)需要監(jiān)控等離子刻蝕和沉積加工過(guò)程。還可以用于其它需要測(cè)量在金屬和玻璃基底上鍍制透明膜層的領(lǐng)域。其他領(lǐng)域中，金屬表面的透明涂層和玻璃襯底也需要嚴(yán)格測(cè)量。

AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用軟件能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控膜層厚度，并且可以與其他AvaSoft應(yīng)用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過(guò)程監(jiān)控軟件一起使用。

薄膜測(cè)量的典型裝置如圖所示

薄膜測(cè)量常用配置

光譜儀

AvaSpec-2048光譜儀，UA光柵（200-1100nm），UV鍍膜，DCL-UV/VIS靈敏度增強(qiáng)透鏡，OSC-200-1100消二階衍射效應(yīng)鍍膜

膜層厚度

10nm到50µm的膜層，1nm分辨率

軟件

AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用軟件

光源

AvaLight-DHc緊湊型氘-鹵素光源

光纖

1根FCR-7UV200-2-ME反射光纖探頭

附件

THINFILM-STAGE支架，用于固定反射光纖探頭