相干公司130W LEAP準分子激光器

相干公司2kHz的IndyStar 準分子激光器

采用紫外準分子激光器進行聚合物的加工可以產生非常干凈的燒蝕效果，而且?guī)缀醪粫a生熱效應區(qū)。同時隨著準分子激光器輸出功率的增長，其加工效率也不斷提高。

目前，紫外微加工技術在塑料襯底上最卓有成效的一項應用就是用于噴墨打印機高質量噴嘴的制造，它要求在塑料基板上鉆出孔徑為10-50um的微孔。這種超高精密度的加工工藝是采用248nm或者308nm的準分子激光器通過掩模板成像技術來實現(xiàn)的，它要求激光輸出功率密度達到600-800mJ/cm2。掩模板成像技術一次可以加工出300個微孔。通常加工一個完整的噴嘴微孔陣列需要200個激光脈沖。相干公司130W的LEAP系列準分子激光器工作頻率可達200Hz，非常適合于這種鉆孔應用。

對于個別的需要更加靈活的鉆孔方式的需求而言，一個可行的辦法就是采用掃描頭來改變輸出光束在塑料基板上的位置。除非你需要在塑料基板上鉆斜孔，否則，采用這種方式就必須要配置一個垂直場鏡，這樣才能保證入射光始終都是垂直照射在塑料基板上。由于現(xiàn)在掃描振鏡的速度非?？?，因此相應地需要高重頻的準分子激光器，相干公司的IndyStar系列激光器就是這樣一款產品，它具有2kHz的重復頻率。

圖1：50um厚度的塑料板加工出的孔徑60um的通孔，波長308nm，能量密度800mJ/cm2, 200脈沖